原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
显微动态散斑法测量压电陶瓷位移特征曲线.pdf
第19卷第4期 光学精密工程 V01．19No．4
andPrecision
Optics Engineering r．2011
2011年4月 Ap
文章编号1004—924X(2011)04—0844—06
显微动态散斑法测量压电陶瓷位移特征曲线
朱 猛，黄战华，王小军，蔡怀宇
(天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室(天津大学)，天津300072)
摘要：采用显微动态散斑相关法来测量压电陶瓷的压电位移特性并标定其线性区间。推导了透射相位衍射体在显微系
统中的散斑光强互相关函数，并讨论了显微系统分辨率与放大倍率对测量微位移的影响。为在计算中避免散斑去相关
的影响，采用了逐级位移相关叠加法。设计了显微散斑采集系统并测量了压电陶瓷的位移磁滞曲线。实验结果表明：使
用放大倍率为100、数值孔径为1．25的显微物镜，在测量光路放大倍率为42．1时，测量位移的理论精度达到0．082；考
虑衍射极限时，实际的极限位移分辨率为0．348／xm。本测量系统满足压电陶瓷位移曲线测量及线性区间标定的要求；
与其他方法相比较，该方法简化了测量光路，提高了运算速度，且对装配误差要求低。
关键词：动态散斑；散斑相关；压电陶瓷；曲线拟合；磁滞曲线
中图分类号：0436．1；TN384文献标识码：A doi：10．3788／OPE0844
of curves
Measurement characteristic
piezoelectricdisplacement
correlation
speckle
usingdynamic
ZHU Zhan-hua，WANG
Meng，HUANG Xiao-jun，CAIHuai—yu
in
Laboratoryof Information University)
(Key Opto—electronicsTechnology(Tianj
the Precision
of MinistryofEducation，Collegeof
Instrumentand 300072，China)
Opto—electroinicsEngineering，UniversityofTia，巧in，Tianjin
correlationmethodwas tomeasurethe ceramiccharacteris—
Abstract：Dynamicspeckle presented piezoelectric
ticcurvesandscalelinearintervalsinthis cross-correlationofa
paper．Firstly，thespeckleintensity pro]ection
diffuserinthe was the and o
文档评论（0）