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泰曼-格林干涉仪测量液晶空间光调制器的相位调制特性.pdf
第3j卷第9期 中 国 激 光 V01．35．No．9
2008年9月 CHINESE I．ASERS September。2008
J()URNAI。OF
文章编号：0258—7025(2008)09—1360-05
泰曼一格林干涉仪测量液晶空问光调制器
的相位调制特性
张洪鑫1’2 张 健1 吴丽莹1
，1哈尔滨工业大学超精密光电仪器丁程研究所．黑龙江哈尔滨150080、
、 ／
2哈尔滨理_L大学机械动力工程学院。黑龙江哈尔滨150080
摘要 为了评价美同BNS公司反射式256pixel×256pixel纯相位液品空间光调制器(I。CSI，M)的性能．提出利用
泰曼一格林十涉仪对相位涮制特性进行干涉测萤。实验结果表明，液晶空间光调制器的相位随厌度旱非线性分布，
利用反插值法建讧线性查找表．校正了器件的非线性。非线性度由原来的17．23％减小到2．85％；中心与边缘的相
位调制，在同一灰度级最大相位差达N0．22n。中心相f髓调制均方根误差是边缘的4倍，说明该器件存在相位调制
的小均匀性，中心相位误差较人。在波前控制llI应给予校iF。
关键词 测量；牵|．日J光调制器；泰曼格林下涉仪；相f讧调制
中图分类号 TN761 文献标识码 A doi：10．3788／CJ1360
PhaseModulationof ModulatorMeasured
LiquidCrystalSpatialLight by
a Interferometer
Twyman—Green
JianlWu
ZhangHongxinl·2Zhang Liyin91
InstituteUltra—Precision Instrument
of OptoelectronicEngineering，
HarbinInstitute 150008，China
Technology，Harbin，HeilongJiang
of
2
andElectrical
DepartmentoJ。Mechanical Engineering，
Harbin Scienceand 150080，China
UniversityoJ Technology，Harbin，Heilor,cgJiang
AbstractInordertOevaluatethe ofareflective256
pixel×256pixel
performance phase-onl
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