非晶态金属的制备方法_61207226.pptVIP

* * * * Tsinghua University 研究生选修课 清华大学 材料学院 Tsinghua University Tsinghua University Tsinghua University Tsinghua University Tsinghua University Tsinghua University 非晶态金属 陈娜 第三章 非晶态金属的制备方法 　 内容提要： 本章重点介绍非晶态金属的常用制备方法，以及在制备非晶态金属过程中需要注意的关键因素。 ?? 学习目标：?? 本章重点掌握非晶态金属的常用制备方法。 Page * 3.1? 液体极冷技术 　 　 液体极冷或快速凝固（rapid solidification）采用比常规凝固工艺快得多的冷却速度，使得金属或合金熔体以极快的冷却速度由液体转变为固体的过程。 铜辊甩带和铜模铸造法 1960年，Duwez等制备首例Au-Si非晶态金属条带。 冷速可达106k/s 首次报道液体急冷结构、形貌、大小的变化规律 激活了非晶态金属领域 Nature 187:869 (1960) Page * 3.1? 液体极冷技术 　 　 3.1.1 超快极冷 铜模铸造 Die-casting 熔体甩带 Melt-spinning 熔体淬灭 Splat-quenching 激光冷淬 Pulsed laser quenching 电流脉冲 Electric pluse-quenching 冷却速度 (k/s) 101~103 105~106 109~1010 1012~1013 1013~1014 Dc (mm) 1~10 0.003~0.1 3×10-5~10-4 10-6~3×10-5 10-7~3×10-6 单质非晶态金属 Ta MG, Nature 512 (2014) 177. Page * 3.1? 液体极冷技术 　 　 3.1.2 深过冷快速凝固 Turnbull D et al. J. Appl. Phys. 21, 804 (1950) and 魏炳波等航空学报12，A214 (1991). 深过冷：通过避免或消除异质晶核，同时抑制均质形核使液体金属获得常规凝固条件 下难以达到的过冷度。 熔剂包覆法：去除异质核心 Turnbull: 悬浮凝固法：去除异质核心 Philos. Mag. A 82,1207 (2002). Pd43Ni10Cu27P20 BMG Page * 3.1? 液体极冷技术 　 　 3.1.3 雾化法 雾化：通过喷嘴或者高速气流使得液体分散成微小液滴。 微米或纳米尺度非晶态金属粉末 非晶态金属纳米线 Scri. Mater. 13, 673 (1979) Nano Lett. 12, 2404 (2012). L:spinnability length, D:wire diameter, V:spinning velocity ?: viscosity, g:surface tension. Page * 3.1? 液体极冷技术 　 　 3.1.3 雾化法 雾化：通过喷嘴或者高速气流使得液体分散成微小液滴。 非晶态金属纳米线 Scri. Mater. 13, 673 (1979) Nano Lett. 12, 2404 (2012). Page * 3.2? 气相沉积 　 　 3.2.1 物理气相沉积 物理气相沉积：采用物理方法，将材料源—固体或液体表面气化成气态原子、分子 或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊 功能的薄膜的技术。 真空蒸镀 惰性气体冷凝 溅射 等离子体镀 离子镀 分子束外延 激光辅助原子层沉积 MG thin films Nanoscale 7, 6607 (2015) Nanoscale 7, 6607 (2015) Acta Mater 59, 6433 (2011) 基体 物质输运 能量输运 气态 Page * 3.2? 气相沉积 　 　 3.2.1 物理气相沉积 惰性气体冷凝 纳米晶的制备 Prof. Herbert Gleiter Prog. Mater. Sci. 33 (1989) 223-315 Nano Today 9, 17 (2014). Page * 3.2? 气相沉积 　 　 3.2.1 物理气相沉积 磁控溅射：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞， 电离出大量的氩离子和电子，氩离子电场下加速撞击靶材表面，轰出靶材原子。磁场 可以束缚电子和氩离子，增强等离子体和电离，同时减少原子到达