基于无源超高频射频识别标签的湿度传感器设计-物理学报.pdfVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 18 (2014) 188402 基于无源超高频射频识别标签的湿度传感器设计 邓芳明 何怡刚 佐磊 李兵 吴可汗 1)(合肥工业大学电气与自动化工程学院, 合肥 290009) 2)(华东交通大学电气与电子工程学院, 南昌 330013) ( 2014 年4 月1 日收到; 2014 年5 月20 日收到修改稿) 针对无源超高频射频识别传感器标签大规模运用的需求, 采用中芯国际0.35 m 互补金属氧化物半导体 (CMOS) 工艺设计并制造了一种低成本、低功耗的湿度传感器. 湿度传感器单元采用聚酰亚胺作为感湿材料, 利用顶层金属层制作叉指结构电极, 制造过程与标准CMOS 制造工序兼容, 无需任何后处理工艺. 接口电路 部分基于锁相环原理, 采用全数字电容-数字直接转换结构, 能够工作在接近工艺阈值电压下. 后期测试结果 显示, 该湿度传感器在常温下灵敏度为36.5 fF%RH, 最大回滞偏差为7%, 响应时间为20 ms, 0.6 V 电源电压 下消耗2.1 W 功率. 关键词: 湿度传感器, 电容式传感器接口电路, 锁相环, 射频识别 PACS: 84.40.–x, 07.07.Df DOI: 10.7498/aps.63.188402 定直流电压信号. 上电复位电路为接口电路提供复 1 引 言 位信号. 传感器信号经接口电路转换为数字信号, 此数字信号经调制电路转换为超高频调制信号并 射频识别(RFID) 技术作为一种先进的自动识 通过天线反射发送回阅读器. 由此工作原理可知, 别和数据采集技术, 被公认为是21 世纪最有发展 无源标签工作的能量来源于阅读器, 因此低功耗是 前途的信息技术之一, 已经成功地应用到生产制 无源标签设计中最重要的性能指标, 无源标签的功 12 造、物流管理、公共安全等各个领域 . 一般来 耗越低, 无线工作的距离越大. 说, RFID 系统可以分为有源和无源两类. 由于无 源RFID 标签无须内置电源供电, 成本低且灵活性 强, 因此更广泛地用于实际生产和生活中3−5 . 近 年来, 得益于微电子技术的发展, 在无源RFID 标 6−9 签中集成传感器功能的研究成为一种趋势 . RFID 传感器标签不仅拓宽了RFID 标签的应用范 围, 而且有利于降低系统成本、减小电路面积及提 高系统稳定性. 图1 为一典型无源超高频(UHF) RFID传感 图1 无源UHF RFID 传感器标签原理 器标签原理图. 天线将RFID 阅读器所发出的无线