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激光诱导精密沉积铜箔试验
中国机械工程第 卷第 期 年 月下半月
２７ ２２ ２０１６ １１
激光诱导精密沉积铜箔实验
黄志刚 李洪辉 印四华 郭钟宁
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广东工业大学特种能场加工实验室 广州 ５１０００６
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摘要 通过改变激光脉冲能量和激光聚焦位置 进行了激光诱导向前转移铜箔的实验 并通过超景
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深三维显微镜和扫描电子显微镜对基片和约束层上沉积的铜箔进行了观察 探讨了激光脉冲能量和激
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光聚焦位置对铜沉积效果所产生的影响 在此基础上研究了激光诱导向前转移的机理 研究结果表明
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在石英玻璃基片上沉积的铜箔直径最小可达 １０ m 远小于激光光斑直径 在约束层上也沉积有铜箔
μ
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即同时出现了激光诱导向后转移的现象 光脉冲能量增大 石英玻璃上沉积的铜箔逐渐分散 尺寸逐渐
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增大 而且呈环形分布 通过调节靶材离焦点距离 可以使环形消失 并使沉积尺寸降到激光光斑尺寸以
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下 最后成功实现了微细阵列的激光诱导沉积
: ; ; ;
关键词 激光诱导向前转移 脉冲能量 精密沉积 微细阵列
中图分类号: : /
TN２４９ DOI１０．３９６９ ．issn．１００４１３２X．２０１６．２２．００２
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ExerimentsonLaserInducedPrecisionTransferofCuFilm
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Huan Zhian LiHonhui YinShihua GuoZhonnin
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NontraditionalManufacturin LabGuandon UniversitofTechnolo Guanzhou５１０００６
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AbstractTheexerimentsontheLIFTofCufilmwerecarriedoutthrouhchanin ulseenerＧ
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