激光高阶回馈微位移测量系统设计及误差分析-激光与红外.PDFVIP

第４５卷　 第５期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４５，Ｎｏ．５ 　 ２０１５年５月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｍａｙ，２０１５ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１５）０５０４８７０５ ·激光应用技术 · 激光高阶回馈微位移测量系统设计及误差分析 曾召利，屈学民，文　峻，李维娜，张　敏 （第四军医大学生物医学工程系数理教研室，陕西 西安７１００３２） 摘　要：设计了一套基于激光高阶回馈效应的微位移测量系统，介绍了其工作原理，给出了系 统中光学单元、机械单元和信号处理及细分单元的设计方法及关键参数。对设计完成的测量 系统与ＰＩ位移台进行了比对测试，实验结果表明系统的分辨率达到０７ｎｍ，并对测量系统进 行了误差分析。激光高阶回馈微位移测量系统不但分辨率高，而且还具有结构简单和性价比 高等优点，在精密位移测量中具有广泛的应用前景。 关键词：激光高阶回馈；微位移测量；误差分析 中图分类号：ＴＮ２４８２　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１５．０５．００４ Ｄｅｓｉｇｎａｎｄｅｒｒｏｒａｎａｌｙｓｉｓｏｆｍｉｃｒｏｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｓｙｓｔｅｍｂａｓｅｄｏｎｌａｓｅｒｈｉｇｈｏｒｄｅｒｆｅｅｄｂａｃｋｅｆｆｅｃｔ ＺＥＮＧＺｈａｏｌｉ，ＱＵＸｕｅｍｉｎ，ＷＥＮＪｕｎ，ＬＩＷｅｉｎａ，ＺＨＡＮＧＭｉｎ （ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＭａｔｈｅｍａｔｉｃｓａｎｄＰｈｙｓｉｃｓ，ＦｏｕｒｔｈＭｉｌｉｔａｒｙＭｅｄｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｘｉ′ａｎ７１００３２，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｍｉｃｒｏｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｙｓｔｅｍｂａｓｅｄｏｎｌａｓｅｒｈｉｇｈｏｒｄｅｒｆｅｅｄｂａｃｋｅｆｆｅｃｔｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄ，ａｎｄｉｔｓ ｐｒｉｎｃｉｐｌｅｉｓｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄＡｌｓｏ，ｔｈｅｋｅｙｐａｒａｍｅｔｅｒｓｏｆｏｐｔｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ，ｍｅｃｈａｎｉｃａｌｐａｒｔａｎｄｓｉｎｇｌｅｐｒｏｃｅｓｓｕｎｉｔｓａｒｅ ｇｉｖｅｎＴｈｅｎ，ｃｏｍｐａｒｉｓｏｎｔｅｓｔｓａｒｅｃａｒｒｉｅｄｏｕｔｆｏｒｌａｓｅｒｈｉｇｈｏｒｄｅｒｆｅｅｄｂａｃｋｓｙｓｔｅｍａｎｄＰＩｍｏｖｉｎｇｓｔａｇｅＴｅｓｔｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｓｙｓｔｅｍｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｉｓｕｐｔｏ０７ｎｍ，ａｎｄｔｈｅｅｒｒｏｒｓｏｆｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｙｓｔｅｍａｒｅａｎａｌｙｚｅｄＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｙｓ ｔｅｍｂａｓｅｄｏｎｌａｓｅｒｈｉｇｈｏｒｄｅｒｆｅｅｄｂａｃｋｅｆｆｅｃｔｈａｓｔｈｅａｄｖａｎｔａｇｅｓｏｆｈｉｇｈｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ，ｓｉｍｐｌｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｈｉｇｈｃｏｓｔｐｅｒ ｆｏｒｍａｎｃｅ，ｗｈｉｃｈｈａｓｂｒｏａｄａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｐｒｏｓｐｅｃｔｉｎｐｒｅｃｉｓｉｏｎｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｆｉｅｌｄ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｌａｓｅｒｈｉｇｈｏｒｄｅｒｆｅｅｄｂａｃｋ；ｍｉｃｒｏｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ；ｅｒｒｏｒａｎａｌｙｓｉｓ １　引　言 单重回馈效应中，外部物体每移动半个波长的位 激光回馈是指激光输出被外部物体反射后， 移激光输出就产生一个回馈条纹，即每个条纹对 一部分光返回到激光器谐振腔与腔内光场发生自 应的分辨率为二分之一波长（几百纳米）。为了获 混合干涉，由于回馈光携带了外部物体的运动信 得更高的分辨率，人们对激光高阶回馈效应进行 息，因此通过解调回馈光的信号就可对外部物体 了研究（即回馈光在回馈外腔中往返多次后才返 ［１］ 回到激光谐振腔），