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考虑空位缺陷的单晶硅纳米级磨削过程的分子动力学仿真-中国机械工程
中国机械工程第 卷第 期 年 月下半月
24 10 2013 5
考虑空位缺陷的单晶硅
纳米级磨削过程的分子动力学仿真
郭晓光 张 亮 金洙吉 郭东明
暋 暋 暋 暋
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大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 大连 116021
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摘要 基于第一性原理 构建并验证了考虑空位缺陷的单晶硅纳米级磨削过程的分子动力学仿真模
。 ,
型 通过磨削过程的分子动力学仿真计算 从原子空间角度分析了单晶硅纳米级磨削过程中原子瞬间
、 、 , ,
位置变化 温度波动 作用力大小和势能波动等变化 解释了纳米级超精密磨削过程中材料的去除过程
。 ,
描述了切屑形成过程和加工表面形成机理 分析了空位缺陷对加工过程和表面质量的影响 并对空位
在仿真过程中的作用进行了研究。
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关键词 空位缺陷 纳米级磨削 分子动力学仿真 单晶硅
中图分类号: : /
TG580.1暋暋暋暋暋暋DOI10.3969 .issn.1004-132X.2013.10.002
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MolecularDnamicsSimulationinVacancDefect
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MonocrstalSiliconNanometricGrindin
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GuoXiaouan暋Zhan Lian暋JinZhui暋GuoDonmin
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Ke Laborator forPrecisionNon-traditionalMachinin ofMinistr
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ofEducationDalianUniversitofTechnolo DalianLiaonin 116021
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AbstractBasedonthefirstrincilesamoleculardnamicsmodelofthe rindin rocessofva
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