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超声技术在硅湿法腐蚀中的应用pdf
第 17 卷 第 1 期 光学 精密工程 Vol . 17 No . 1
2009 年 1 月 Op tics and Preci sion Engineering J an . 2009
( )
文章编号 1004924X 2009 0 10 16606
超声技术在硅湿法腐蚀中的应用
1 2 1 2
曾毅波 ,王凌云 ,谷丹丹 ,孙道恒
( 1. 厦门大学 萨本栋微机电研究中心 ,福建 厦门 36 1005 ;
2 . 厦门大学 机电工程系 ,福建 厦门 36 1005)
摘要 :为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面 ,在硅湿法腐蚀中引入超声技术 。对超声湿法腐蚀系统进行了改进 , 以确保腐蚀
溶液的顶部和底部温差在 0 . 5 ℃之内。采用 60 ℃,10 %质量分数的 KO H 溶液 ,在超声频率为 59 k Hz ,超声功率为 60
( ) ( ) ( )
～180 W 间隔 10 W 条件下对 100 硅片进行湿法腐蚀 。最后 ,运用激光共聚焦扫描显微镜 L SCM 对腐蚀后硅片表面
粗糙度进行测量 ,并探讨超声参数的选择对腐蚀表面质量的影响 。实验结果表明:超声功率在 120 W 时 ,可以获得平滑
μ
的腐蚀表面 ,表面粗糙度 R q 值为 0 . 020 m 。在湿法腐蚀系统中采用超声技术 ,可以明显改善腐蚀表面质量 ,在较低温
度和较低浓度的 KO H 溶液中 ,选择合适的超声参数可获得高品质的腐蚀表面 。
关 键 词 :湿法腐蚀 ;超声技术 ;表面粗糙度 ;激光共聚焦扫描显微镜 ;微机电系统
中图分类号 : TN 305 . 2 ; TB559 文献标识码 :A
Appl ication of ultrasonic technology to wet etching of sil icon
ZEN G Yibo1 , WAN G Lingyun2 , GU Dandan1 ,SU N Daoheng2
(1. PenTung S ah M icroelectromechanical System Research Center , X iamen University , X iamen 361005, China;
)
2. D ep artment of M echanical and Elect rical Eng ineering , X iamen Univers ity , X iamen 361005 , China
Abstract : In or der to achieve smoot h wet et ching surf ace of silicon , ult ra sonic t echnolo gy i s int ro duced
in t he wet et ching of silicon . By imp roving t he ult ra sonic wet e
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