碳硅共掺氮化铝的p型掺杂效率研究-中国科技论文在线.PDFVIP

中国科技论文在线 28 2 Vol28 No2 2011 3 JOURNAL OF SHENZHEN UNIVERSITY SCIENCE AND ENGINEERING Mar. 2011 : 1000-2618( 2011) 02-0109-04 p 1 1 1 2 武红磊 , 郑瑞生 , 孟 姝 , 黄俊毅 ( 1. , 518060; 2. , 510631) : 采用碳受主和硅施主共掺杂的方法制备低电阻率 p型氮化铝晶体. 通过第一性原理计算预测 碳硅共掺氮化铝的 p型掺杂效率及碳硅合适掺杂比. 计算结果表明, 在氮化铝中由碳硅共掺形成的 Cn -Si 络合物 ( n = 1, 2, 3, 4) 可以稳定存在,