纳米精度压电马达的动力学模拟及试验-光学精密工程.pdfVIP

第 12 卷 　第 3 期 光学 精密工程 Vol . 12 　No . 3 2004 年 6 月 　　 Optics and Precision Engineering 　　Jun . 2004 ( ) 文章编号 　1004924X 2004 纳米精度压电马达的动力学模拟及试验 段智勇 ,王庆康 , 曾令刚 ,费继承 (上海交通大学 微米/ 纳米科学技术研究院 ,上海 200030) 摘要 :设计并制作完成了一种基于压电陶瓷逆压电效应的纳米精度压电步进马达 。根据其结构简化模型 ,推导出该压电 纳米马达在脉冲电源作用下的运动特性表达式 。编写软件 ,设定参数对压电马达的运动性能进行模拟 ,结果表明了马达 的线性步进运动特点 。设计光栅测试系统 ,对压电马达样机进行运动测试 ,试验结果证实了模拟结构的正确性 。该类压 电纳米马达具有可以实现连续步进位移 ,步进速度快 ,单步分辨率小 ,行程长和便于利用微机实现智能控制等特点 。纳 米马达的位移分辨率可以达到 10 nm ,最快速度为 0 . 6 mm/ s ,最长行程为 5 cm 。 关 　键 　词 :纳米马达 ;压电陶瓷 ;执行器 ;光栅计量系统 中图分类号 :TM38 　　文献标识码 :A Dynamic simulation and testing of a novel piezoelectric nanomotor DUAN Zhiyong , WAN G Qingkang , ZEN G Linggang , FEI Jicheng ( Institute of Micro/ N ano Science and Technology , S hanghai J iaotong University , S hanghai 200030 , China) Abstract : A nanometer precision stepper piezoelectric motor has been designed and fabricated based on converse piezoelectric effect . From the simple model established from the motor ’s configuration , dynamic characteristic equa tions are deduced with pulses applied on the piezoelectric stack . The movement of the motor was simulated with some coefficients applied . The results of the simulation show that the motor is a linear stepper motor . A grating test ing system was designed to test the piezoelectric motor . The experimental results prove that the simulations are true . This piezoelectric nanomotor can achieve serial step movement at higher speed with higher resolution in longer range , and it is easy to control by computer . The displacement resolution of the motor could be 10 nm at 0 . 6 mm/ s in the range is 5 cm. Key words : nanomotor ; piezoelectric