纳米zro2基烧结型双敏元件的研究.pdfVIP

2OO4年9月 传 感 技 术 学 报 第3期 StudyontheHumidityandGasSensorBasedonNnaosizedZirconPowder CHEN Wei，HUANGShi-zheng，LIN Wei，HUANGZhao-xin，LICheng-quan，SUNJi (Gases．~ollJor$InstituteofFuzhouUniversity，Fuzhou，350002，China) Al~xact： NanosizedpowderzirconaSanewceramicmaterialareusedinmanyfields．Thispaperintroducde howto preparethenanosizezirconinalow-temperaturesuperalkalinecondition，andtofabricatehtesensorsbyusnightis material wiht differentdoping．Th esensorissensitivetohumiditynadNH3，wiht charactersoffastresponsenadrot2ov— cryingooatime．Th estructureofhteesnsorissimple，nadhteesnsoriseasiertobemadehtna ohteres~ rs．Theca— paciyt ofhte8erlsorobviouslychnageswiht htehumidity，butlessresponses totemperature variation．Asaconductance typegassensor，htecomponentiswellselectivetoNI-I3． Keywords： Z ；humidiytsensor；capacitive；NH3sensor 纳米 ZrO2基烧结型双敏元件的研究 陈 伟，黄世震，林 伟，黄兆新，李成泉，孙 吉 (福州大学气敏传感器研究所，福州 350002) 摘要：纳米z 作为一种新型的陶瓷材料已被应用于许多领域。本文主要介绍了低温强碱法制备纳米z 材 料，利用纳米z 进行掺杂制作的元件有较好的气、湿敏特性。元件具有响应恢复快、结构简单等特点。作为湿敏 元件时元件电容随湿度变化大，温度影响较小。作为电阻型气敏元件时，元件对NI-I3的选择性高。 关键词 ：ZrO~；湿敏传感器；电容式；NI-I3传感器 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1004—1699(2004)03—0472—40 由于 z 具有 良好的化学稳定性、高的硬度 理量做了研究。 和韧性，随着电子和新材料工业的发展，ZlO2现已 1 敏感材料及元件制备 成为电子陶瓷、功能陶瓷、结构陶瓷和人造宝石的 主要原料，在高技术领域的应用 日益扩大。近年来 z 材料制备：利用低温强碱法n】。简单地 在气、湿敏领域也有应用。由于纳米材料具有特有 说，就是将锆盐(ZrOCl~·8H2O)与强碱 (№OH)进行 的表面效应、体积效应、量子尺寸效应使他具有很 固相反应，再经洗涤、过滤、烘干、煅烧等一系列工 多独特性能。本文利用低温强碱法制备出纳米 序，进而制备出纳米 ZrO2材料。所制备出的纳米 ZIO2材料纯度高、颗粒微细。通过对z 进行掺 ZlO2纯度高。 杂做成敏感材料，以直热烧结球型的气敏元件制作 在过量NaOH晶体中，边研磨边加入一定配比 工艺为基础制作具有气、湿敏特性的双敏元件。对 量的ZrOCl~·8H2O，直至粉末干燥。将粉末倒至烧 该元件的气、湿敏性能做了初步的研究。对利用同 杯中用蒸馏水洗涤若干遍至无 Cr存在(可用 5％ 一 元件的不同特性参数的变化测试不同的空间物