基于MEMS 的微流体装置a.doc

MEMS 往复式微泵 微泵基本上是微流控芯片中最广阔的研究课题。由于基因组学、蛋白组学和新病毒的发现等应用对于微流体的需要，微泵被主要用于产生一定量的流体以实现精确可控的流体传输。现已经存在了许多各种各样的微泵以实现流体在微小尺度上的传输。 微泵的驱动方式一般包括液压气动、静电驱动、电磁驱动、压电驱动、热气动、双金属驱动、利用形状记忆性质驱动。 在微或者亚微尺度内，隔膜泵是应用最广泛的泵。一般隔膜泵结构如图3 所示，关键的元件包括一个作动器（Actuator）、柔性泵膜(diaphragm)、泵腔(pump chamber)和两个止回阀。通过泵腔内的压力变化来实现流体传输，只有泵腔内外的压力差达到克服阀的压力承受能力时泵才会工作[3]。 图3 微隔膜泵组成元件示意图 蠕动泵工作状态基于泵腔的设置好的顺序变化状态，这些动作把流体从一点挤向另外一点。尽管蠕动泵在结构上比具有止回阀的隔膜泵要简单，反向泄露是它的一个大问题。平面的设计结构使这种泵容易加工和装配，但是这种泵需要多重电子作动器。现研制出的微泵如图4、5 所示。 图4 一种蠕动式微泵示意图 图5 一种蠕动式微泵示意图及实物图 此外还有无阀泵、旋转式泵、动力泵（包括超声波泵和离心泵）和非机械泵等。 对于微粒和多相流体机械泵是一个理想的操作手段，在微泵的领域内，它已被广泛并深入地研究。但是可以传送大量流体的隔膜泵因其复杂的结构，比较难加工。作动器使其中的一个限制因素，由于微泵的微流量限制了微作动器动作幅度，所以需要在外面安装作动器。 下面介绍隔膜式微泵的元件和其加工过程。 2.1 微阀和微阀加工过程 现有的微阀种类有圆圈台面阀（Ring Mesa）、悬臂结构阀(Cantilever)、膜结构阀(Membrance)、V 型阀(V-Shape)、多晶硅圆盘阀(Poly-Si disc)和硅有机树脂悬浮阀(SiliconeFloat)，其示意图依次见图6。 图6 多种阀结构及工作原理示意图 为了减少前端的流体阻力，选择了一种具有特殊几何形状的弹性材料（聚对二甲苯）微阀。由于聚对二甲苯杨氏模量很低，同时固定形状是S 型的，使得微阀具有两个方向的自由度，并具有动作快、阻力小等优点。但是由于此种阀只能实现一个方向的流体控制，为了满足微泵的流体进出需要，制作出了另外一种双面式的集成微阀系统，如图7、8 所示。 图7 聚对二甲苯止回阀工作原理图 图8 两种双面的聚对二甲苯止回阀实物图 制作过程从一个覆有热镀1.5 微米厚二氧化硅的硅晶片，它起到蚀刻掩罩作用。第一步用氢氧化钾腐蚀形成盲孔，剩下的20 微米厚硅片膜在后续步骤中起到结构支撑作用。然后经过氟化溴气体腐蚀使表面粗糙，这样不仅可以减少聚对二甲苯对基板的静摩擦力，而且可以加固聚对二甲苯与基板连接部分的牢固程度。接下来在涂附着力促进剂和2 微米厚的聚对二甲苯，并在氧等离子体里面定型，形成微阀顶部的圆形支撑圈。然后涂5 微米厚的牺牲光刻胶并对之定型，以分开微阀的盖和基座。为了避免尖角处的机械疲劳破损，对光刻胶进行硬性烘烤处理形成圆角。接下来在表面沉积第二层3 微米厚的聚对二甲苯，并热镀一层铝掩护膜，但是由于热镀铝掩护摸时会对光刻胶和聚对二甲苯层有伤害，要先在它们表面涂10 微米厚的光刻胶。经过氟化溴气体腐蚀，除去20 微米厚的硅膜和牺牲层光刻胶，最终形成通孔。对牺牲层光刻胶和铝光刻胶混合层进行加工，形成最终的阀【6】。具体过程示意图如图9 所示，最终加工成品如图10 所示。 图9双面止回阀加工过程示意图 图10 加工完成的止回阀扫描电镜图 2 硅橡胶泵膜 大的挠度和良好的密封性是泵膜必须要具备的特性。同时，为了达到大的压缩比，需要一种能够按照要求形成规定的泵腔的材料。硅橡胶由于杨氏模量和硬度比较低，而且延展率比较好，是一种理想的材料。 首先用氢氧化钾在二氧化硅和硅基板上腐蚀出硅薄膜和固定支撑柱（Pillar），然后在表面涂一层硅橡胶，然后经过压膜、腐蚀去除形成最终的硅橡胶泵膜，加工过程示意图如图11，加工成品如图12 所示。 图11 带固定柱的硅有机树脂膜加工过程示意图 图12 带固定柱的硅有机树脂膜实物图 3 硅橡胶垫圈 硅橡胶垫圈是用来把止回阀安装在泵的基座上的，该垫圈能够实现自调整、圆柱定位，以固定在树脂玻璃上。首先在硅片上涂一层10 微米厚的光刻胶，以形成固定用圆柱。然