短脉冲激光刻蚀加工铜材料的机制强激光与粒子束.PDFVIP

　第 19 卷 　第 8 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol . 19 ,No . 8 　 　2007 年 8 月 H I GH PO W ER L A SER AND PA R TICL E B EA M S A u g . ,2007 　 文章编号 : 　100 14322 (2007) 08127 104 短脉冲激光刻蚀加工铜材料的机制 刘院省 , 　刘世炳 , 　陈　涛 ( 北京工业大学 激光工程研究院, 北京 100022) 　　摘 　要 : 　利用数值模拟方法 ,研究波长 1 064 nm 、脉冲宽度介于 1～20 p s 的激光在刻蚀铜靶时 ,单次脉 冲作用下非平衡场刻蚀和热平衡刻蚀两种机制的竞争过程 。结果表明:随着脉冲宽度的增加 ,刻蚀过程由非平 衡电荷分离场刻蚀 占主导地位转变为热平衡刻蚀起主要作用 ,且脉冲宽度和激光峰值功率密度增大到一定程 度后 ,各种电子加速机制在不同时刻开始突显 , 电子能量分布出现多峰结构 。在能量密度为 15 J / cm2 的激光 作用下 ,1 和 5 p s 脉宽对应的非平衡场刻蚀深度分别为 110 和 10 1 nm ,10 和 20 p s 脉宽分别为 25 和 18 nm 。 　　关键词 : 　皮秒脉冲激光 ; 　铜靶 ; 　平衡刻蚀 ; 　数值模拟 　　中图分类号 : 　O532 ; TN249 　　　　文献标识码 : 　A 　　脉冲激光已经广泛应用于微加工 、薄膜沉积和新材料制备等领域[ 1 ] 。加工的质量和精度取决于激光脉冲 宽度 、刻蚀速率和刻蚀阈值等因素[23 ] 。近年来的研究表明 ,较长脉冲( τ 100 p s) 激光和物质相互作用时 ,热 p 平衡刻蚀 占主导地位[ 1 ,46 ] ,且刻蚀阈值与脉冲宽度的平方根成正比, 即 F ∝ τ;而对于短( τ 1 p s) 或超短 t h p p ( τ≤100 f s) 脉冲与物质相互作用时 ,则以非平衡场刻蚀为主[ 1 ,56 ] 。但是 ,对于脉冲宽度在 1～100 p s (介中宽 p ) [7 ] 度 时 ,刻蚀的动力学过程将变得十分复杂 ,两种刻蚀机制的竞争决定着激光加工的质量 。Gamaly 等人 曾采 用 12 p s 脉冲激光刻蚀不同的金属材料 ,认为热平衡刻蚀机制仍 占主要作用 。过长的脉宽和较低的刻蚀速度 都会影响加工的质[ 89 ] ,因此 ,研究短脉冲在金属材料刻蚀中的机制竞争对于激光加工的具体应用是十分重要 的。本文采用 1 维 M ED 10 1 程序[ 10 ] 对波长为 1 064 nm 、介中宽度脉冲激光刻蚀金属 Cu 靶的具体过程进行模 拟 ,分析两种机制在整个刻蚀过程中的作用 。另外 ,还对相应的刻蚀阈值和刻蚀率进行了计算 。 1 　基本模型 　　超短脉冲激光刻蚀金属