- 1、本文档共22页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
半导体行业中DRAM的制造与测试
半导体行业中DRAM的制造与测试
DRAM器件的基本介绍
DRAM器件的晶圆制造流程
DRAM器件的封装流程
DRAM器件的电性测试与良品率
DRAM器件晶圆制造的新工艺
DRAM的基本介绍
DRAM的基本介绍
内存的种类
谈起DRAM,我们就要先从memory谈起。Memory – 存储器或称内存,是我们在计算机或电子行业里面常用的一种存储载体。以其构成方式和工作原理,存储器可分为以下几种,如图一所示。
图一:存储器种类
RAM (Random Access Memory): 随机存储器,数据可以被迅速的读写并且内存单元可以被随机得访问道。
ROM (Read Only Memory): 只读存储器,一般用于存储不会频繁改动的数据,其中存储的信息,是在工厂里被永久性写入的。
DRAM (Dynamic Random Access Memory): 动态随机存储器,数据被以充电的形式写入电容,但由于漏电的原因,存储的电荷会最终失去,所以存储器中的数据需要周期性地被更新,这也正是“动态”一词的来源。一般来讲,一个最基本的存储单元由一个MOS管和电容所组成,而典型的DRAM需要5~50毫秒的数据更新周期。
SRAM (Static Random Access Memory): 静态随机存储器,数据被存储在两个耦合的逻辑反向器中。与DRAM相比,SRAM中的数据不需要被周期性的更新,而这也导致其具有低功耗的特点;典型的SRAM存储单元由6个MOS管所组成,但这也导致在同等的器件面积上,它所存储的数据量比DRAM少。
PROM (Programmable Read Only Memory): 可编程只读存储器
Mask ROM (Mask Read Only Memory): 一种只读存储器,其中存储的信息是在晶圆的制造过程中,以掩模版的形式被复制在器件上。
EPROM (Electrical Programmable Read Only Memory): 电可编程只读存储器。
EEPROM (Electrical Erasable and Programmable Read Only Memory): 电可编程/擦除只读存储器。
FLASH (FLASH Electrical Erasable and Programmable Read Only Memory): 闪存
DRAM市场的现状与发展
由于DRAM的特性,使其成为在计算机与通讯系统中使用最为广泛的半导体存储器形式。而也因为其制造工艺的先进性,使其成为半导体制造工业的标杆,表一所给出的SIA(半导体产业协会)对半导体产品的产品参数所预测的“路线图”,就是以DRAM器件为代表所给出的。
产品年代 2001 2006 2012 线宽(nm) 150 100 50 存储器容量 1Gb 16Gb 64Gb 逻辑比特/cm2 380M 2.2B 17B 芯片尺寸(mm2) 445 790 1580 最大连线水平 7 7-8 9 掩模层 23 24/26 28 缺陷密度(D/m) 875 490 250 芯片接口-I/O’s 1195 1970 3585 晶圆直径(mm) 300 300 450
表一:半导体产业路线图 – SIA
在半导体产业中,DRAM器件的销售利润额为370亿美元(2000年),占整个半导体市场份额的16%。图二给出了DRAM市场利润额的变化图
图二:DRAM市场利润额趋势图
由于DRAM制造工艺的不断发展,也使DRAM成为了一种低成本的内存器件,目前,其每个逻辑存储比特的制造成本已小于10-7美元,并且其制造成本还在以每年约26%的速率在继续下降。图三给出了DRAM器件制造成本的下降趋势。
图三:DRAM器件制造成本的下降趋势图
目前的DRAM生产技术已经发展到160nm工艺,每个存储单元的面积可以控制在0.3um2以内。当前主要的DRAM生产商是Samsung, Micro, LG-Hyundai, Hitachi, 这几家生产商占到了DRAM市场份额的80%以上。
DRAM器件的工作原理
DRAM器件的基本结构
谈起DRAM器件的基本结构,我们要先从其最基本的存储单元(Memory Cell)说起,图四为DRAM存储单元逻辑示意图;图五为其存储单元晶圆剖面示意图。从图四我们可以看出,每个DRAM存储单元是由一个MOS管,一个电容,一根字节线(Word Line或称行)和一根比特线(Bit Line或称列)所组成的,而这就是典型的DRAM 1T(Transistor)1C(Capacitor)存储单元结构(IBM公司于1968年发明)。就是这样一个一个的存储单元组成了DRAM器件存储阵列,而存储阵列一般会占到整个DRAM器件面积的50~6
您可能关注的文档
- 北师大版九年级物理第十三章《电功和电功率》同步练习.doc
- 北师大版二年级数学下册期末试卷三套.doc
- 北师大版五下《百分数的认识》PPT正式版.ppt
- 北师大版五年级上册数学精美实用课件星期日的安排.ppt
- 北师大版五年级数学上册《倍数与因数复习》PPT课件.ppt
- 北师大版五年级数学上册期中试题_试题_试卷.doc
- 北师大版五年级数学下册第六单元测试卷.doc
- 北师大版五年级数学下册第四单元长方体和正方体的体积PPT.ppt
- 北师大版六年级上册数学整理与复习及月考试题.doc
- 北师大版六年级上册数学试卷.doc
- 2024年江西省寻乌县九上数学开学复习检测模拟试题【含答案】.doc
- 2024年江西省省宜春市袁州区数学九上开学学业水平测试模拟试题【含答案】.doc
- 《GB/T 44275.2-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第2部分:术语》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44275.2-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第2部分:术语.pdf
- GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构.pdf
- 《GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构.pdf
- GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南.pdf
- 《GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南》.pdf
文档评论(0)