一种简单的化学气相沉积法制备大尺寸单层二硫化钼.PDFVIP

一种简单的化学气相沉积法制备大尺寸单层二硫化钼 董艳芳 何大伟 王永生 许海腾 巩哲 SynthesisoflargesizemonolayerMoS withasimplechemicalvapordeposition DongYan-Fang HeDa-Wei WangYong-Sheng XuHai-Teng Gong Zhe 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,128101(2016) DOI: 10.7498/aps.65.128101 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.65.128101 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2016/V65/I12 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin Se和MoSe 纳米片的结构和发光性能 StructuresandphotoluminescencepropertiesofSeand SeMo nanoflakes 物理学报.2016,65(3): 038102 /10.7498/aps.65.038102 晶体相场法研究应力状态及晶体取向对微裂纹尖端扩展行为的影响 Studyontheeffectofstressstateandcrystalorientationonmicro-cracktippropagationbehaviorinphase fieldcrystalmethod 物理学报.2015,64(17): 178102 /10.7498/aps.64.178102 软模板纳米压印技术及其对共轭高分子的取向控制研究 Patterntransferandmolecularchainorientationmodulationbysofttemplateduringthenanoimprintlithog- raphy 物理学报.2014,63(22): 228104 /10.7498/aps.63.228104 高温高压方法合成碳包覆-Fe O 纳米棒及其磁学性能 HPHTsynthesisandmagneticpropertyof -Fe O @Ccore-shellnanorods 物理学报.2014,63(10): 108101 /10.7498/aps.63.108101 粗晶和纳米晶Sm Co合金的制备及其性能研究 Preparationandpropertiesofpolycrystallineandnanocrystalline Sm Coalloys 物理学报.2014,63(9): 098102 /10.7498/aps.63.098102 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 65, No. 12 (2016) 128101 一种简单的化学气相沉积法制备 大尺寸单层二硫化钼 董艳芳 何大伟 王永生 许海腾 巩哲 1)(北京交通大学, 发光与光信息技术教育部重点实验室, 北京 100044) 2)(北京交通大学光电子技术研究所, 北京 100044) ( 2016 年3 月9 日收到; 2016 年3 月18 日收到修改稿) 最近单层二硫化钼以其直接带隙的性质及在电子器件、催化、光电等领域中的潜在应用而备受关注. 化学 气相沉积法能够制备出高质量、大尺寸且性能优良的单层二硫化钼, 但其制备工艺比较复杂. 本文采用简化的 化学气相沉积法在蓝宝石衬底上制备出了大尺寸的单晶二硫化钼. 清洗衬底时, 只需要简单的清洁, 不需要 用丙酮、食人鱼溶液(H SO /H O ) 等处理, 这样既减少了操作步骤, 又避免了潜在的危险. 升温时直