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简述纳米制造技术应用与成果 李楠 重庆大学 摘要：纳米制造是多学科的新型交叉研究领域，对其基础研究的深入展开可为前沿制造 技术的进步提供有力支撑。在过去的20 多年里，基于纳米制造的探索已展示出宽广的 发展前景，并将在多个行业为社会带来巨大的经济效益。本文主要从先进纳米制造技术、 应用及重点成果方面简述观点。 关键词：纳米制造技术、纳米精度、纳米尺度、重大成果 0 引言 纳米科学技术是目前发展迅速、最富有活力的科学技术领域，受到世界各国的高度 重视。纳米科学与技术集合交叉了多学科内容，是一个融前沿探索、高技术、工程应用 于一体的科学技术体系。纳米科技在纳米尺寸范围内认识和改造自然，开辟了人类认识 世界的新层次，使人们改造自然的能力直接延伸到分子、原子尺度水平，这标志着人类 的科学技术进入了一个新时代。许多专家认为，以纳米科学为中心的科学技术将成为 21 世纪的主导。 美国科学基金会将纳米制造定义为构建适用于跨尺度集成的、可提供具有特定功 能的产品和服务的纳米尺度的结构、特征、器件和系统的制造过程。纳米制造已远远超 出常规制造的理论和技术范畴，相关技术的发展将依赖于新的科学原理和理论基础，依 赖于多学科交叉融合。纳米制造从牛顿力学、宏观统计分析和工程经验为主要特征的传 统制造技术走向基于现代多学科综合交叉集成的先进制造科学与技术。其主要特征在 于：（1）制造对象与过程涉及跨尺度；（2）制造过程中界面/表面效益占主导作用；（3） 制造过程中原子/分子行为及量子效应影响显著；（4）制造装备中微扰动影响显著。 纳米制造有着重要的工业前景，是许多技术领域发生重大发展的基础和支撑技术。 纳米制造科学技术领域还存在许多未知，需要人们去探索、了解、掌握、发明和创造。 纳米制造的新概念、新技术、新工艺将不断出现，在生产实际中的应用会愈来愈深入和 广泛。 1 纳米制造 纳米制造包括两种技术追求，一是针对制造精度达到纳米量级，二是特征尺寸达到 纳米尺度中国国家自然科学基金委员会定义的纳米制造包括纳米结构制造纳米精度制 造和跨尺度制造。 纳米精度制造： 在过去的几十年里，制造过程中材料去除量从微米，到亚微米，再到纳米量级 纳 米精度制造主要包括纳米切削、纳米磨削、纳米抛光等加工形式。 纳米切削作为纳米精度加工最主要的技术之一，以超精密数控车床为基础，采用天 然金刚石刀具，在对加工环境精确控制的条件下，加工出纳米量级精度器件的方法。 超精密磨削是应对硬脆材料纳米加工的有效手段，借助高性能机床良好的工具完 善的辅助技术和稳定的环境条件，加工精度可控制在0．1μm 级以下表面粗糙度Ｒa 达 10nm 纳米磨削相对纳米切削过程复杂，加工确定性较低，加工时磨削力大磨削温度高 磨削效率低，砂轮极易因钝化堵塞而造成工件加工损伤，产生裂纹与残余应力集中，较 难满足高精度高效率的加工要求。 纳米切削与磨削过程易于造成加工表面损伤，且加工表面存在刀痕，为消除加工表 面损伤和刀痕，实现超光滑表面及纳米量级精度的加工，纳米抛光技术应运而生。磁流 变抛光技术最早出现在1974 年，前苏联传热质研究所的Kordonski 将磁流变液用于机 械加工，20 世纪90 年代初，他与美国罗彻斯特大学光学制造中心Jacobs 等人，提出 确定性磁流变抛光技术。磁流变抛光技术是利用磁流变抛光液在磁场中的固液转化流 变特性，形成凸起缎带对加工表面进行抛光加工时对加工零件表面误差进行分析，计算 出各局部区域的驻留时间，进而实现以时间换空间的定量修整表面加工误差，提高加工 表面精度的纳米加工方法。离子束抛光主要采用离子束溅射去除表面多余材料，首先将 惰性气体等离子体化，并用加速电极加速引至高真空加工室，采用静电透镜汇聚离子 束，冲击工件表面，从而将工件表面原子或分子打出，形成纳米量级超光滑加工表面。 离子束抛光技术与磁流变抛光技术相结合，被视为加工极紫外光刻光学元件的关键技 术。水射流抛光是加工脆性材料光学零件的又一有效方法，该技术将混合有抛光磨料的 抛光液在一定压力的作用下喷射到工件表面，利用磨粒对工件材料的冲蚀作用去除材 料 水射流抛光与磁流变抛光技术相比，不受抛光头尺寸的限制，对环境要求不高，在 加工内凹曲面高陡度的光学表面具有明显的优势。 纳米尺度制造： 高能束是纳米尺度制造的一种有效方法，包括聚焦激光束离子束电子束纳米尺度 制造现有纳米尺度制造技术中，激光制造技术近年来得到快速发展。激光