提高微量气体分析仪的测量精度.PDFVIP

第 卷第 期 南京工业大学学报 !* ! F87 5!* 18 5! 年 月 !##! - GHIJ1+K H2 1+1GL1M I1LFNJOLP H2 NQ.1HKHMP R= 5 !##! 提高微量气体分析仪的测量精度 ! 王雅琴，韩立发 （南京工业大学 材料科学与工程学院，江苏 南京 !###$ ） 施亿平 （南京航空航天大学 电子工程系，江苏 南京 !##% ） 摘 要：碳酸钙和磷石膏的分解过程都有微量的水蒸汽和二氧化碳气体放出，需要对它们进行在线分析，对激光干 涉式微量气体分析仪进行了光强补偿电路设计，通过分析和试验，肯定了该电路的可行性，提高了仪器的测量精 度。 关键词：测量精度；光强补偿；放大器 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： — （ ）— — ’ #% ()* + ##, ,)-, !##! #! ### #* 碳酸钙以及磷石膏的分解过程中有微量的水蒸 光电管! 转变成电信号后，分别送到一补偿电路再 气和二氧化碳气体放出，需要对它们进行在线分析。 经放大后输出，见图。 本文设计的激光干涉微量气体分析仪，较好地解决 这一电路既可完成光 电的线性变换，同时又能 0 了微量气体分析仪中的光强补偿问题，达到了提高 补偿光源波动给测量带来的影响，从而提高了测量 测量精度，提高测量灵敏度的要求。激光干涉仪的 的精度，它是一个比较理想的自稳定系统，为激光干 光源采用./01/ 气体激光管，发出的光输出波长范 涉气体分析仪的应用开辟了前景。 围宽，光学均匀性好。而且，在单色性、相干性及稳 定性等方面都比固体和半导体激光管优越。但是， 最大的弱点是 ./01/ 激光管由于谐振腔的损耗波 动，以及放电电流的波动等因素，引起激光管输出功 率的瞬时波动，直接影响了测量的精度。本文专门 图 光强补偿电路的原理方块图 讨论激光干涉微量气体分析仪的光强补偿问题，主 234 5 6789: ;34= 8? 7@3A8B3CD098E/ABC38A 93=9@3C 要考虑在光电转换之后，加上一级光强补偿电路，使 其既能实现光0 电的线性变换，又能自动补偿光强的 ! 基本电路 瞬时变动，提高测量的精度。 根据设计要求，我们选择了由对数 反对数放大 0 器组成的光强补偿电路。其原理线路图如图 所 基本原理 ! 示。 由激光光源发出的两束光，分别经光电管 和 收稿日期： ! !##00 万