第15章 平板显示器用薄膜.pptVIP

第十五章 平板显示器中的 薄膜技术与薄膜材料 平板显示器 显示技术：将电信号变换成可见光信号的技术。 平板显示器(FPD)：Flat Panel Display，一般是指显示器的深度小于显示屏幕对角线1/4长度的显示器件 。 平板显示器 液晶显示器LCD LCD显示原理：通过给液晶施加一个电场，改变它的分子排列，配合偏振光片，它就具有阻止光线通过的作用，再配合彩色滤光片，改变加给液晶电压大小，就能改变某一颜色透光量的多少，也就是说通过改变液晶两端的电压就能改变它的透光度和光的波长，达到显示出图像的效果。 液晶显示器LCD 有源矩阵驱动LCD (AM-LCD)器件结构 液晶显示器LCD AM-LCD 中的开关元件：TFT 薄膜晶体管(TFT)是AM-LCD中非常重要的一个部件，它的作用类似于一个开关。TFT的沟道中所采用的半导体薄膜主要为：a-Si : H 和 poly-Si。 采用a-Si : H TFT的AM-LCD 在a-Si:H TFT中，栅绝缘膜(SiN)/沟道膜层(a-Si:H)以及刻蚀掩膜(SiN)、电导n+膜(P掺杂的a-Si:H)、最终保护膜(SiN)等都用等离子体CVD沉积制备。 像素电极用的透明导电膜(ITO)，电极、布线 (Cr、Al、Ti、Mo等)，绝缘膜(TaOx)等多采用射频磁控溅射法沉积。 液晶显示器LCD AM-LCD 中的开关元件：TFT