第5章薄膜表征课件.pptVIP

薄膜技术与薄膜材料;第一节 薄膜厚度测量技术 第二节 薄膜结构的表征方法 第三节 薄膜成分的表征方法 第四节 薄膜附着力的测量方法 ;第一节 薄膜厚度测量技术;1、薄膜厚度的光学测量方法;2）不透明薄膜厚度测量的等厚干涉条纹（FET）和等色干涉条纹（FECO）法;对于n1n2的情况，反射极大的位置出现在;（1）利用单色光入射，但通过改变入射角度（及反射角度）的方法来满足干涉条件的方法被称为变角度干涉法（VAMFO），其测量装置原理图如图。 （2）使用非单色光入射薄膜表面，在固定光的入射角度的情况下，用光谱仪分析光的干涉波长，这一方法被称为等角反射干涉法（CARIS）。;4）薄膜测量的椭偏仪（Ellipsometer）法;实验原理： 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后，光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的。通常，设介质层为n1、n2、n3，φ1为入射角，那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉。;椭偏仪测量薄膜厚度和折射率;2、薄膜厚度的机械测量方法;2）称重法;3） 石英晶体振荡器法;第二节 薄膜结构的表征方法;一、简 介;二、扫描电子显微镜Scanning Electronic Microscope (SEM);优点：提供清晰直观的形貌图像，分辨率高，观察景深长，可以采用不同的图像信息形式，可以给出定量或半定量的表面成分分