特点及其应用.PDFVIP

维普资讯 第4卷第3期 纳米加工工艺 Vo1．4 No．3 2007年6月 Nano—processingTechnique June 2007 几种纳米加工技术的原理、特点及其应用 赵保军， 王 英， 张亚非 (上海交通大学微纳米科学技术研究院，薄膜与微细技术教育部重点实验室， 微耗纳米加工技术国家级重点实验室， 上海 200030) 摘 要 ：从整体上介绍 了基于传统半导体加工的纳米加工技术 、探针直接书写式纳米加工技术、纳 米复制加工技术，以及这几种纳米加工技术的原理、特点及其应用。 关键词 ：纳米加工；掩膜；浸笔纳米印刷 ；微接触印刷 ；纳米压印 ThePrincipleandCharacteristicandApplicationof