大量程光纤准白光干涉绝对测距技术.ppt

根据准单色光干涉原理，在零位光程差附近干涉条纹的强度呈类高斯分布，顶点即为零光程差点。光纤准白光干涉仪中有多组干涉光纤，光纤组为定长，并且按照系统设计要求呈等差序列。 由于扫描导轨和目标棱镜的移动是相对的，故首先要给系统确定零位。经BSZ及LSZ的光信号，与经扫描棱镜反射回来的光信号经1×2分束器在PDZ汇聚，两者相等时发生干涉，用来确定扫描导轨的零点Os,为保证导轨有较大的有效扫描行程，Os尽量位于导轨中图示的一端。请看图1 设OM为目标棱镜的零位，即被测物体的零位，并规定目标棱镜相对于OM距离为被测距离D，图示方向为正。如果扫描导轨位于Os处，目标棱镜位于OM处，PD1处恰好出现干涉，则两者零位一致。如果不一致，做一适当校正。 扫描干涉仪由一维工作台驱动，扫描移动通过高精度的麦克尔逊干涉仪进行测量。系统经调整后处于测量预备状态，LD发出的光经过目标棱镜和扫描棱镜分别耦合进光纤到达8路耦合器CPL的其中一路。当测量开始时，PDZ处首先发生干涉产生固定的零位信号，触发麦克尔逊干涉仪计数，当干涉光纤组（PD1-PD8）中产生干涉信号，触发终止信号，测量结束，扫描台返回起始位置。 由于扫描棱镜为8倍程，扫描导轨移动S，实际上产生附加光程8S。故两组光纤分束器分别耦合上呈8SR（SR为参与计算的行程，须使相邻光线组测量时的光程有交叠部分，即应使SR 略小于导轨能扫描的最大长度Smax，如取Smax ＝220mm，SR ＝200mm ）等差排列的8组光纤。这样当固定在物体上的目标棱镜处于测量范围内时，扫描台移动一次，8组光纤其中的一组就会有干涉条纹，由此可以求出物体的绝对距离。 测量开始时，零位信号触动扫描台开始计数。求取测量距离的原理如图2所示 为光纤组的光程差，i=2-8; 系统中，量程受4方面的影响 扫描导轨的计算行程 ； 扫描棱镜与目标棱镜光路倍增之比 ； 光纤分束器分束比 光开光的分配比 它们共同构成光纤干涉测距中的量程倍增系统。 系统最大测量距离： 整套系统从小型化结构方面的考虑，取计算行程 系统中采用扫描棱镜8倍程，目标棱镜4倍程，因此光路倍程之比 ； 光开关器件在光通讯领域被广泛运用。本系统采用1×4的光开关。当需要测不同范围的距离时，通过两组高低电平对四路光纤进行选择。在系统扫描部分的光路中，增加光开关和4×1的合路器组成的单元，进行光纤光路的选择，达到量程倍增的目的。这两个器件构成的单元中连接4组光纤，这样系统的量程可以增加4倍。 该系统最后的量程为： 测量系统的精度主要取决于麦克尔逊干涉仪的精度和干涉信号的瞄准精度，前者的精度很高，可达0.5u，对于后者由于瞄准方式是一样的，瞄准系统的误差可以相减削去。该绝对距离测量系统实质上是光波长基准的传递，故可以做到很高的精度。 Thank you！ * 大量程光纤准白光干涉绝对测距技术 大量程光纤准白光干涉绝对测距技术 大量程光纤准白光干涉绝对测距技术 概述 1.1 研究意义 1.2 大尺寸测量的方法 2 测量系统的原理 3 量程倍增技术 光程差自标定技术 4.1 倍增光纤组光程差自标定技术 4.2 光开关光程差自标定技术 5 系统精度分析 1.1 研究意义 近些年来，科学研究以及工业生产领域对大距离测量提出了越来越高的要求，快速、准确的距离测量有越来越广泛的应用领域。 应用举例：在重型机器制造业中，许多配合尺寸和重要尺寸一般都远远超出500mm，如葛洲坝水电站水轮机的定子和转子的尺寸都十几米。要制作出高精度的大尺寸零件，必须在加工过程中进行检测，随时控制尺寸误差。 因此，非接触、大量程及高精度的绝对距离测量是测量技术的一个重要的发展方向。 1.2 大尺寸距离测量方法 传统测量方法 （1）传统激光干涉测距技术 特点：稳定性好，测量精度高，只能依靠连续不间断的扫描来获取测量参数，需要一个至少大于被测尺寸的导轨，无法进行绝对距离测量。 （2）激光测距仪 特点：可以摆脱长扫描导轨进行大距离绝对测距，但由于光速太快，几米到几十米的距离对应的激光飞行时间太短，信号检测装置很难及时响应。 1.2 大尺寸距离测量方法 测量新技术 （1）多波长干涉技术 （2）线性调频外差干涉技术 （3）半导体激光器自混合干涉法 （4）准白光干涉技术 基本原理：利用白光干涉具有高精度定位功能这一特性，将其与光纤干涉仪相结合，实现绝对距离测量。 2.1