号微机电系统技术的实际应55号用型仪.PDFVIP

国 防 科 技 大 学 学 报 第 -- 卷 第 - 期 ZJYOI7 P JR I7 ;DJI7 P YIDF1 OMD;O JR m1 R1 IM1 ;1 TIJPJNO Far -- Ia - -111 文 章编 :11:O-248 6-111( 1-O11D1O19 号微 机 电系统技 术的 实际 应5 5 号 用型 仪 * 丁衡高 袁祖武 6总装备部 北京 :11192( 器 摘 微机 电系统被普遍认为是一项面 向 世纪的可 以广泛应用 的新兴技术 作为其实际应用 的微型 -: 仪器 具有传统仪器无