原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
纵弯式压电微马达驱动机理研究-光学精密工程.PDF
65 Vol. 6, No. 5
199810 OPT ICS AND PRECISION ENGINEERING October, 1998
*
邵培革
( 大连理工大学机械系 大连 11602 )
王立鼎
( 中国科学院长春光学精密机械研究所 长春 130022)
,
,
1
,
, , ,
, ,
[ 1]
, 1992
Anita. M . Flynn 1. 5mm
[ 2]
, , ,
,
, 1993
[ 3]
3mm , ,
[ ]
1993,
*
863
: 1998- 07- 10
70 6
, ,
, ,
, ,
, , ,
, ,
, ,
,
,
,
2
,
PZT , PZT ,
, , PZT , ,
, 1a)
[ 5]
, ,
, , , ;
;
, ,
, , ,
a) structure b) mechanical analysis
Fig. 1Longitudinal-bending piezo motor m odel
5 : 71
1b) , 1b)
, , ,
ys = y0sint ( 1)
, , ,
,
, ,
[ 5]
, ,
,
, ( 1. a T ransmitter )
, , K2 ,
2
, , K , ,
, , ,
, ,
, ,
3
( 1) , [ 6]
i( t- )
y = Br 1 ( 2)
2 2 2 2
K + r 1 + ( 2)
B = y0 2 2 2 = y0 2 2 = y0 ( 3)
(K - m) + r ( 1- ) + ( 2)
文档评论（0）