CVD和CVD镀层工具钢的热处理.docx

·工 艺 ·CVD 和 CVD 镀层工具钢的热 ·工 艺 · CVD 和 CVD 镀层工具钢的热处理 潘晓华 1 ,朱祖昌 2 ( 1. 艾福表面处理技术 (上海 )有限公司 ,上海 200030; 2. 上海工程技术大学 ,上海 201620 ) 摘 要 :应用气相沉积技术可以获得微米级或纳米级的单层或多层新颖材料 。其中硬质膜在机械零 件和加工工具上的应用一直是人们最感兴趣的重要方面 。目前 ,对涂层硬质合金主要应用 CVD 技 术 ,涂层高速钢和高合金钢主要应用 PVD 和 PECVD 技术 。本文阐述具有高淬透性 、二次硬化能力 和淬火加热奥氏体化温度接近 CVD 涂覆温度的工具钢 ,在 CVD 涂覆的前后采用强化的热处理和表 面保护的工艺方法进行处理 ,可以获得具有优良的基材性能和优异的 CVD 涂层的零件 ,将大大提高 零件的使用寿命 。 关键词 : CVD;化学气相沉积 ;工具钢 ;模具 ;热处理 ;显微组织 中图分类号 : TG154. 5 文献标识码 : B 文章编号 : 1673 - 4971 ( 2008 ) 02 - 0041 - 05 C VD an d Hea t Trea tm en t of C VD - C oa ted Too l S tee ls PAN X iao2hua1 , ZHU Zu2chang2 ( 1. H. E. F. Shangha i, Co. , L td. , Shangha i 200030 , Ch ina; 2. Shangha i U n ive rsity of Enginee ring Sc ience, Shangha i 201620 , Ch ina) A b stra c t: Som e new typ ica l m a te ria ls w ith single laye r o r m u ltip laye r struc tu re of the grade of m ic rom e te r o r nanom e te r can be m ade by m ean s of vapo r p ha se depo sition techn ique. It is the mo st impo rtan t and in2 te re sting to coa t m echan ica l p a rts and too ls w ith the ha rd depo sited film s. A t p re sen t, coa ting the ca rb ide is p roduced w ith CVD m e thod s and coa ting the H SS and h igh a lloy stee ls w ith PVD and PECVD m e thod s. In th is p ap e r, the au tho r be lieve s tha t tho se too l stee ls, w ith h igh ha rdenab ility, seconda ry ha rden ing be2 havio r and au sten itizing temp e ra tu re nea r CVD temp e ra tu re, can be CVD - coa ted in o rde r to ga in the ex2 ce llen t p rop e rtie s of the sup e rfic ia l depo sited laye r. The re fo r tho se stee ls m u st be trea ted th rough the strengthen ing hea t trea tm en t in vacuum o r p ro tec tive a tmo sp he re befo re and afte r CVD p roce ss. Key word s: CVD; chem ica l vapo r depo sition; too l stee l; mou ld; hea t trea tm en t; m ic ro struc tu re 1 CVD 涂层技术概述 近 30 余年来 ,气相沉积成为材料表面改性中迅 速发展和广泛应用的表面涂层技术 。气相沉积是利 用气相中发生的物理 、化学过程 ,在工件表面沉积固 态膜层的一种工艺方法 。应用气相沉积可以获得微 米级或纳米级的单层或多层的新颖材料 ,它们是具 有特殊的物理性能