晶体生长科学与技术-03(共六部分).pptVIP

* * 在长约１米、一端封闭的玻璃管(后称托里拆利管) ，装满密度为水的13.5倍的水银汞，用手指封住管口而将管倒立于水银槽内，然后放开手指，则原来达到管顶的水银柱将下降到高于槽中水银面760毫米左右处，以与管外大气压强的作用相平衡。管的上端这一部分空间，除极稀薄的水银蒸气外，可看到真空。这是人类最早用人工方法获得的真空，曾轰动一时，至今人们还把它叫做托里拆利真空。 * 理想气体方程: vp=NRT 单位体积的分子数: n～1/cm3, p～mbar , CO分子n = p/kT * 由理想气体状态方程压强的表式. p=nkT （4.2.2）. 其中p为压强，k为玻耳兹曼 常数（k =1.38×10-23 ），T为热力学温度 * International System of Units (SI) * 极限真空度主要取决于油蒸汽压和气体分子的反扩散， * ? 低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。 * ? 低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。 * ? 低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。 * * 衍射效应导致埃利斑的形成，由埃利斑半径R=0.61 λ/n*sina决定:当两个埃利斑中心间距等于第一暗环半径R时， 样品上相应的两个物点间距为透镜的分辨本领，即：= 0.61 λ/n*sina 可见光波长在3900-7600?之间 这是因为存在衍射效应和象差引起的散焦斑：只要偏离理想物平面和像平面产生的失焦圆斑尺寸不超过衍射效应和象差引起的散焦斑的大小，则对透镜的分辨本领不会产生影响 * 复型材料为无定形的，常用的复型材料是塑料和真空蒸发沉积碳膜。质厚衬度小，可以通过“投影”的方法使之得到改善，即以倾斜方向蒸发沉积散射能力较大的重金属膜。常用的为铬、金、铂等。 真空的基本特点 在真空中，气体分子密度低，在某些情况下，真空可以近似地看作没有气体“污染”的空间。真空中，气体分子或带电粒子的平均自由程随气体分子的减少而增大： 1. σ为气体分子有效直径，对空气分子，其值可取σ=0.37 nm，p为压强，T为气体温度，k为玻耳兹曼常数，； 2.例如室温下氮分子的平均自由程在压强为10-9 Torr的时大于50km； 因此，真空中分子之间碰撞频率很低，分子与固体表面碰撞的频率极低。单位面积上气体分子碰撞频率ν与压强p的关系为： 式中M和T分别为气体分子的分子量（单位：g）和温度（单位：K）。 所以，在普通高真空，例如10-6 Torr时，对于室温下的氮气，ν=4.4×1014分子/cm2 ?S，如果每次碰撞均被表面吸附，按每平方厘米单分子层可吸附5×1014分子个分子计算，一个“干净”的表面只要一秒多钟就被覆盖满了；而在超高真空10-9 Torr 或10-11 Torr 时，由同样的估计可知“干净”表面吸附单分子层的时间将达几小时到几十小时之久。 以前“原子清洁”的固体表面主要通过解理来获得，并且极其容易被污染； 超高真空可以提供一个“原子清洁”的固体表面，可有足够的时间对表面进行实验研究； 超高真空的应用，无论在表面结构、表面组分及表面能态等基本研究方面，还是在薄膜生长等应用研究方面都取得长足的发展； 为得到超纯的或精确掺杂的镀膜或分子束外延生长晶体创造了必要的条件，促进了半导体器件、大规模集成电路和超导材料等的发展； 为在实验室中制备各种纯净样品（如电子轰击镀膜、等离子镀膜等）提供了良好的基本技术。 真空度的划分 真空状态下气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值表示； 我国采用SI规定： 1标准大气压(1atm)≈1.013×105Pa(帕)； 1Torr≈1/760atm≈1mmHg； 1Torr≈133Pa； 我国真空区域划分为：粗真空、低真空、高真空、超高真空和极高真空。 大气：760Torr )≈1.013×105Pa 低真空：1.013×102~1.333×10-1 Pa 中真空：1.333×10-1 Pa~1.333×10-4 Pa 高真空：1.333×10-4 Pa~1.333×10-7 Pa 超高真空：1.333×10-7 真