匀胶机和热板使用规定.PDFVIP

匀胶机和热板使用规定 1）设备名称：Suss LabSpin6 匀胶机 2 ）Coral 名称：Coater-Suss-Labspin6 3）可使用的光刻胶种类： AR-P 3210 、 SU-8 2025 Fox15 AZ 6112 、 AZ 5214 、 KMPR 1005 、 PMGI 、 AR-P 6200 、 AR-P 617 、 PMMA 、 MMA 、 经过中心批准和允许的材料（请通过 Nanofab 邮箱递交申请 ！） 4 ）注意事项： 使用前应注意检查设备状态，并注意取放样品 匀胶结束后应立即对匀胶机腔体进行全面清理，在不影响其他预约用户 使用的情况下，可每次实验结束离开时进行清理，一般光刻胶均使用无尘纸蘸丙 酮进行擦拭清理 不可用丙酮擦拭易溶于丙酮的一些机器塑料外壳及部分设备标识印字 ！ 部分导电胶等使用无尘纸蘸水进行擦拭清理。