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第10章 数字式传感器 10.1 光栅传感器 10.2 磁栅传感器 10.3 感应同步器 10.4 角数字编码器 10.5 频率式数字传感器 第10章 数字式传感器 模拟式传感器——模拟量 传感器— 数字式传感器——数字量 数字式传感器的优点： ?测量精度与分辨率高，无读数误差； ?抗干扰能力强，稳定性好，易于远距离传输； ?易于与微机接口，便于信号处理和实现自动化测控。 数字式传感器分类： ?脉冲数字式：计量光栅；磁栅；感应同步器；角数编 码器； ?数字频率式：振荡电路；振筒；振膜；振弦。 10.1 光栅传感器 物理光栅：衍射现象；用于光谱分析、波长测量等 光栅 线位移长光栅—长度测量 计量光栅：莫尔条纹现象 （透射式和反射式） 角位移圆光栅—角度测量 10.1 光栅传感器 10.1.1光栅传感器的结构和原理 10.1.1.1结构： 10.1 光栅传感器 结构: ?照明系统：普通白光源，GaAs固态光源 等； ?光栅副：主光栅或标尺光栅，指示光栅； ?光电接收元件：光电池或光敏三极管。 光栅： ?刻线宽度a，刻线间距b，通常a=b=W/2；或a:b=1.1:0.9； ?光栅栅距（或光栅常数）W=a+b； ?光栅规格：10、25、50、100线/mm。 10.1 光栅传感器 10.1.1.2工作原理 1．莫尔（Moire）条纹的形成 光栅常数相同的两块光栅相互叠合在一起时，若两光栅刻 线之间保持很小的夹角?，由于遮光效应，在近于垂直栅线 方向出现若干明暗相间的条纹，即莫尔（Moire）条纹。如 图10-2所示。 Moire条纹的间距B为 10.1 光栅传感器 2. 莫尔（Moire）条纹的基本特性 （1）两光栅作相对位移时，其横向Moire条纹也产生相应 移动，其位移量和移动方向与两光栅的移动状况有严格的对 应关系； （2）光栅副相对移动一个栅距W，Moire条纹移动一个间 距B，由B=W/?知，B对光栅副的位移有放大作用，鉴于 此，计量光栅利用Moire条纹可以测微小位移； （3）Moire条纹的光强是一个区域内许多透光刻线的综合 效果，因此，它对光栅尺的栅距误差有平均效果； （4）Moire条纹的光强变化近似正弦变化，便于采用细分 技术，提高测量分辨率。 10.1 光栅传感器 10.1.2 光栅传感器的测量电路 10.1.2.1 光栅的输出信号 主光栅与指示光栅作相对位移产生莫尔条纹，光电元件在 固定位置观测莫尔条纹移动的光强变化，并将光强转换成电 信号输出。光电元件输出电压uo与位移量x成近似正弦关 系。 光电元件输出电压uo可表示为 10.1 光栅传感器 光栅输出信号的光电转换电路及其输出信号波形如图10-3 所示。 10.1 光栅传感器 ?光栅传感器测位移x的原理： 当位移量x变化一个栅距W时，其输出信号uo变化一个周 期，若对输出正弦信号uo整形成变化一个周期输出一个脉 冲，则位移量x为 x=NW (10-3) 式中，N—脉冲数；W—光栅栅距。 ?输出信号灵敏度： 输出电压信号的斜率为 (10-4) 由上式可见，当2?x/W=n?，即x=W/2、W、3W/2、… 时，斜率最大，灵敏度最高。故其输出信号灵敏度Ku为 Ku =2?Um/W (10-5) 10.1 光栅传感器 10.1.2.2 辨向原理 计量光栅辨向原理电路如图10-4所示。 10.1 光栅传感器 辨向原理： 在相距B/4位置设置两个光电元件1和2，得到两个相位差 ?/2的Moire条纹正弦电压信号u1和u2，然后送到辨向电路中 去处理。正向移动（A）时，Y1输出脉冲，计数器作加法计 数；反向移动（ ）时，Y2输出脉冲，计数器作减法计 数