气体输送系统安全.ppt

W*J 气体输送系统安全 气体输送系统安全 After this training, you will be able to: 了解半导体/电子行业气体种类及特性 了解低温气体的危害及防护 了解如何确保气体输送系统安全 了解如何正确操作钢瓶 了解gas-handling设备及其功能 了解系统输送系统的部件及其功能 了解gas cabinet和VMB/P 设计准则 气体输送系统的三大设计准则 Safety Process Control 工艺控制（流量、压力等） Purity Control 纯度控制（纯度/颗粒度） 气体分类一 根据气体储存形式不同，分为： Bulk Gas 大宗气体（特指Ar, N2, O2, He, H2） Specialty Gas 特种气体 (SiH4, NH3, CF4, etc.) Compressed Dry Air干燥压缩空气 气体分类一—大宗气体 Bulk Gas 大宗气体--N2/Ar/O2 通常半导体工厂，厂务N2/ Ar/ O2以液态储存在槽罐内 气体分类一—大宗气体 低温液体 在常压下沸点低于-240oF (-115oC) 例如 　O2液化温度(-297 oF) (-183oC) 　Ar液化温度(-302 oF) (-186oC) 　N2液化温度(-320 oF) (-196oC) 　　oC=(oF-32)*5/9 气体分类一—大宗气体 低温液体危险性 低温 蒸气扩散 低温液体可能引起冻伤 气体分类一—大宗气体 低温气体的其它危险 低温可能会引起周围物品的损伤危险 危险包括 过冷 过大的体积膨胀 雾 气体分类一—大宗气体 膨 胀 率 气体分类一—大宗气体 低温危险防护 提供排风系统 正确操作气瓶 正确的系统设计 适当的个人防护设备 气体分类一—大宗气体 Bulk Gas 大宗气体--H2 /He 由于H2和He的液化温度极低，加之自然界游离态气体极少，故H2和He一般以高压气态形式储存在钢瓶内（国外使用液态储存），并且以钢瓶组供应 H2常用电解水得到，He从矿石中提炼得到（绝大部分产自美国） H2液化温度(-423 oF) (-253oC), He液化温度(-452 oF) (-269oC) 绝对零度为 -273oC 气体分类一—特种气体 什么是Specialty Gas特种气体 大宗气体CDA以外的气体 空气中极稀有气体（如Xe 氙气） 不存在空气中，人工合成之气体 （如AsH3砷烷） 特殊用途之超高纯气体（又称电子级气体） 气体分类二 根据气体危险性，气体分为： 不可燃气体 (N2, SF6, NF3等) 可燃性气体 (H2, SiH4, CH4等) 氧化性气体 (O2, N2O等) 毒性气体 (AsH3, PH3等） 腐蚀性气体 (Cl2, DCS等） 气体分类二—常见危险符号 气体分类二—不可燃气体 常见不可燃气体种类（通常指类似的惰性气体） 不可燃气体之危险性 窒息性—— 取代肺中的氧气 压强—— 单位面积所承受的压力 能量—— 气体在状态转变过程中产生的能量 气体分类二—不可燃气体 氧气被其他气提所取代之危害: 19.5% 人类正常生活所需要的最低氧气浓度极限 15-19.5% 工作能力下降，冠状动脉，肺部和循环系统出现先期症状， 12-14% 呼吸，脉搏加快，渐渐失去知觉 10-12% 呼吸，脉搏进一步加快，丧失判断能力，嘴唇发紫 8-10% 无意识，呕吐 6-8% 8 分钟死亡率100%，6分钟死亡率50%，4-5分钟尚可恢复 4% 40秒钟内昏迷，抽搐，停止呼吸，直至死亡 气体分类二—可燃气体 常见可燃气体种类 H2/ SiH4等 可燃气体之危险性 窒息性 压力 可燃性 爆炸可能性 气体分类二—可燃气体 气体分类二—可燃气体 气体分类二—可燃气体 可燃性气体的危险防护 保证空气的流动，配备排风 正确的钢瓶操作流程 使用防爆设备 避免任何火化产生的可能 气体分类二—氧化性气体 气体分类二—氧化性气体 气体分类二—氧化性气体 用于氧化性气体输送系统的材料必须: 材料兼容（与活泼的氧化性气体不反应） 对材料系统作特殊清洁处理 (Oxygen clean) 过高含氧量的危害 当含氧量=23.5% 时，燃烧特性发生改变 可燃范围增大 自燃温度下降 通常不会燃烧的物质在 高氧环境会燃烧 通常会燃烧的物质在 高氧环境会极易燃烧，且燃烧速度极快 气体分类二—氧化性气体 氧化性危险防护 提供排风系统 正确操作气瓶 使用相容的原料 避免引燃点 确认系统经过适当的清洗 气体分类二—毒性气体 例如