少数载流子寿命仪在太阳电池制备中的应用研究.pdfVIP

·606· 中国太阳能光伏进展 少数载流子寿命仪在太阳电池制备中的应用术 席珍强1，2黄笑容3杨德仁2 1浙江理工大学材料研究中心杭州310‘018 2浙江大学硅材料国家重点实验室杭州310027 3杭州海纳半导体有限公司杭州310027 【摘要】 少数载流子寿命仪是表征半导体材料质量的一个重要参数。本文主要研究了不 同部位的铸造多晶硅硅片在磷吸杂前后以及氮化硅沉积前后少数载流子寿命的 变化，揭示少数载流子寿命仪在原生材料判别、磷扩散吸杂以及表面和体钝化 ．等这些电池制备工艺控制的重要性。 【关键词】 少数载流子寿命硅晶体太阳电池 0引言 少数载流子寿命是表征半导体质量的一个重要参数，它与半导体材料中杂质或缺陷的能 级位置、密度大小和材料的表面复合情况直接相关[1】。图l显示的是晶体硅太阳电池的常规． 制备工艺流程。在这些制备工艺中，材料会先后经过磷吸杂(B)、表面钝化(c)和烧结(D) 等热处理工艺。在每一步热处理过程中，材料的少数载流子寿命都可能会发生变化，而材料 的有效少数载