平行束测量与束平行度矫正技术研究.pdfVIP

2005年12月 第十三届全一电子束·毫子束·光于束学术平套 湖南·长沙 平行束测量与束平行度矫正技术 孙雪平孙勇王迪平伍三忠 (中国电子科技集团第48研究所，长沙41011l 北京中科信电子装备有限公司，北京100036) 摘要：本文对先扫描后加速系统的平行束测量的原理进行了详细的推导，对平行度的具体测量方 法进行了详细的介绍。并介绍了如何根据测量结果对平行束透镜进行调整使之满足束平行度指标 主题词：平行束，柬平行度 1 引言 现有半导体集成电路制造技术中，随着半导体集成电路技术的发展，集成度越来越高，代工的晶 圆尺寸越来越大．从6英寸到8英寸，甚至12英寸，电路中单元器件尺寸越来越小，对各半导体工艺 设备的自动化提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也提出了 更高的要求，当代工的晶圆尺寸到达8英寸或12英寸时，要求离子注人机具有：整机可靠性好、精确 控制束品质、低尘粒污染、注入束流的角度同一性好等多种功能和特征，特别是离子束到达晶圆表面 时。在晶园表面不同的位置，束斑都要求以同样的角度注入。基于这些原因，就引入了平行束测量控制 这一技术。因此，平行束测量控制技术是大角度离子注人机设备中最为关键的技术之一，并且是区别 于该种机型与其他类型的离子注入机的根本点。 2 工作原理及分析 2．1针对现有先扫描、矫正后加速型大角度离子注入机中束流平行度的检测，并通过检测结果对 束流平行度进行矫正，用以确保本类型设备具有大倾角注入的功能，并满足生产工艺上指标的要求。 该平行束测量控制系统(图l平行束测量控制系统)包括：偏转单元、平行单元、加速单元、移动法拉 第、系统控制器。 束平行单元 ．『_：：：孔移动法拉第 ]一 I 一 L．．．．．．．．．．_J b 图1平行束测量控制系统 -231- 2005年12月 第十三届全国电子束·离子柬·光子束学术年会 湖南·长沙 由离子束系统产生一定能量的离子束(见图2)，具有聚焦性好，束径小，其通过偏转单元后，在水 平方向上产生一定距离偏移的离子束，这个偏移量的大小与所加的偏转大小有关(束流1，束流2)，系 统控制器输出控制信号给偏转单元，使得离子束由于偏转大小的不同，可产生不同距离的偏移。 不同距离的偏移离于束以不同的角度进人束平行单元后．经过束平行单元的作用获得离子柬，虽 然进入束平行单元的都是不同的角度的离子束，而离开束平行单元的全部是同一角度的离子束(束流 3，束流4)。 晶圆 同一角度的离子束进入加速单元，通过加速单元，离子束获得一定能量到达移动法拉第杯，由于 加速单元具有一定的聚焦作用．离子束在有加速单元和没有加速单元时到达不同的位置，系统控制器 通过移动法拉第检测出不同加速状态下离子束流峰值位置，来确定束流的平行度。 通过测量和计算平行度是否满足工艺上注入的平行度指标要求，如果不满足平行度要求，根据差 值计算出平行束透镜电流的补偿值，使之达到束平行度的指标要求。 2．2如图3所示：当束流引出能量为E0，通过聚焦偏转以及平行束透镜进行角度较正(此时不扫描， 而是加直流偏压)后，以初始速度Vo进人加速区，其入射角为0(即不平行度)。 ①当不加加速电压时：加速管区相当于漂移区。束流以VO方向直接射到靶平面。这时从加速人口 到靶平面在垂直方向漂移距离为o{+L)tgO。 ②当加速管两端加上电压为u时。使得束流通过加速区后，其能量变为E，其速度为V，其出射角 由入射角0变为B。且在垂直方向的位移为d。