离子源机理及调试浅析.pdfVIP

第十届全国电子束离子束光子束学米年会 离子源机理及调试浅析 刘咸成 (信息产业邵电子第48研究所，长沙410111) 摘要:对应用离子注入设备中的低气压热阴极弧放电离子源的放电机理、引束及相关参数对束 流的影响，进行了分析讨论。 关健词:电离;等离子体;稍层;离子流密度 1 前 言 离子源广泛应用于离子注人机及加速器等离子束设备上，近年来，世界各国在计算机、家 用电器等军民领域对集成芯片的需求量不断增加，同时对集成芯片生产的关键设备— 离子 注人机提出了更多更新的要求。诸如:离子束流要求大，且离子束的光学品质要求好等。离子 源是离子注人机的心脏部件，离子源束流大小直接决定离子注人机的束流指标，离子源及引束 系统直接决定整机束流传输效率，因此，离子源的引束调试在离子注人机的调试中起着十分重 要的作用 。 下面从离子源放电室工作气体的电离、引束及提高束流大小的途径进行分析探讨。 2 离子源电离机理 2.1 低气压气体放电 两电极板间通人适量的气体，极板间灯丝发射足够的电子，极板加上电压，供给电子足够 的能量，再加上磁场，增加电子碰撞路径，提高碰撞截面，使大量原子产生激发电离，随着电压 的增加，则在宏观上产生电流，并伴随着气体发光电离，一般分为三个区域川: (1)无光放电区(非自持暗放电，自持暗放电)通常从几十伏左右开始有电流大小为数泌, 随电压升高，电流随之增大。 (2)辉光放电区，当电压增加到一定数值时，电流突然急剧地增大，出现辉光放电，可观察 到气体发光，通常叫击穿，一般气压为 101P.-10-1p.，低真空范围内容易辉光放电，放电电压 为102-100V，通过电流约为1mA-0.IA,放电电流密度比较小，电极和气体的温度比较低， 工作在辉光放电区的离子源一般称冷阴极离子源，如:潘宁离子源，当放电电流为0.IA-IA 231 湖南 ·长沙 时，为反常辉光放电区，由于电流密度的增加及极间电压的增加，阴极位降区的功耗愈大，这时 在阳极上出现的溅射现象愈严重，因此，一般潘宁离子源不宜大放电电流工作，否则源寿命将 大为缩短( 电极间电流A 叮 叮 1 少 川 反常挥光放电区 0 l 碘 一:一}c}EkC}一一 10-乞 250500 75。电极电压V 图1 放电区域 (3)弧光放电区，在辉光放电的基础上，继续增加电压，放电电流达 IA左右时，电压突然 急剧变得很小，这时放电很快过渡到弧光放电，弧光放电的特征电压成100V，电流1-10`A, 具有捉眼的弧光 阴极和气体温度比较高，放电电流密度比较大，放电比较稳定，但热效应不 可忽视。工作在弧光放电区的离子源，一般为热阴极离子源，如:双等离子体郭子源、氛里曼离 子源等。 2.2 等离子体的产生(21 (1)平板电极(热阴极K和阳极A间极板为真空，先不考虑送气间距L)之间加上电位差 Ua这个电压不足以把阴极全部发射的电子拉走，极间电子流密度j。是电位差U。和极间距L (x)的函数。 边界条件:X=0 u=0 解，松方程:杀=一4nP, (1) Idxu!二二。一。;二一:;。一:。 厄eu (2) 人=一P\/而