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化學分析電子術(electron spectroscopy for chemical analysis,ESCA) 報 告 人: 李筱菁 指導教授:黃文星 目錄 簡介 原理 應用 結論 簡介 目前使用最廣泛的表面分析電子儀:AES,ESCA 1960之後 AES與ESCA之比較: 原理 光電效應 光電子: 激發源 ESCA X光光束 結構: 應用 結論 可利用光電子動能研判表面元素種類及化態 ESCA可做表面元素,化學態及測定超薄薄膜厚度 激發源的改良使ESCA分析更為精密 * * 激發源: AES:電子束 ESCA:X光束 檢測目標: AES:歐傑電子動能 ESCA:光電子動能 2. 儀器結構 不 同 處 類 似 處 Ekin:光電子動能 hv:入射電子能量 EB:電子束縛能 電絕緣體 半導體 ESCA 高分子聚合物 腐蝕研究 * * * On, * *