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静电悬浮式三轴加速度传感器设计及其空间 静电悬浮式三轴加速度传感器设计及其空间 静静电电悬悬浮浮式式三三轴轴加加速速度度传传感感器器设设计计及及其其空空间间 应用前景论述 应用前景论述 应应用用前前景景论论述述 摘要 静电悬浮几三轴加速度计的针对太空的微重力水平设计的，理论分析表明加 µ 速度计最大的量程为35 g,分辨率为1ng,她可以满足多方面的太空应用。同时分0 0 析了可能存在的误差源。研究了一些相关技术和加工工艺。基于设计一种高精度的 加速度计，本文提出了一种用于低轨道卫星的测量重力加速度的加速度计的理论设 计方案。一般来讲，获得来自人造卫星的地球重力的方法如下所示：使用GPS数据 获得作用于卫星的合力，非重力性质的力使用卫星上的微型加速度计检测，二者之 差就是我们要求的重力，它与地球重力场有直接的联系。最后我们得出如下结论： 用于重力加速度检测的最适频宽为0.0008 Hz to 0.15 Hz。理论结果将对将来卫 星上重力场的检测具有一定的价值。 关键词：