一种硅压力传感器的高精度宽温度补偿设计.pdfVIP

泼 摘要：本文提出了一种硅压力传感器的温度补偿方法，同时给出了如何进行温度补偿以及非线性修正的具 体算法，实现了硅压力传感器宽温度范围下的高精度测量。 关键词：硅压力传感器；温度补偿；三次样条插值 中图分类号：TP212．1 文献标识码：A 文章编号：1006—883X(2010)O4—0017-04 胡永建 一 、 前言 硅压力传感器使用半导体硅作为芯片材质，有半导体材料共同的温度敏感性。如果不考虑温度补偿修正， 很难在宽的环境温度下保证测量精度。现有的宽温度补偿的压力传感器精度往往较低。 本文给出了硅压力传感器的一种新型温度补偿数据采集 电路设计，同时给出了相应的修正算法，可以在 温度补偿修正的同时对非线性误差修正。在．IO~C～70~C使用温度范围内，使用这种方法的硅压力传感器的测量 精度能达到满量程的万分之五。 二、数据采集