共光路移相单频激光干涉测长系统Ξ.PDFVIP

第30 卷第2 期 光 学 技 术 Vol. 30 No. 2 　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　 2 0 0 4 年 3 月 OPTICAL TECHN IQU E March 　2004 ( ) 文章编号 : 2004 　　 共光路移相单频激光干涉测长系统 韩旭东 , 艾华 ( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 , 吉林 长春 　130022) 摘 　要 : 单频激光干涉系统采用偏振光移相方法 ,用来解决常规单频激光干涉仪中的光强“零漂”问题。共光路设 计提高了干涉系统的测量稳定性和重复性。采用光程差放大技术提高了干涉系统的分辨力。在构造了一套实验布局的 基础上 ,分析了影响系统测长精度的主要因素 ,并对干涉系统的测量误差分量做了定量的分析 ,完成了系统的精度测试。 关 键 词 : 移相 ; 光程差放大 ; 共光路 ; 精度分析及测试 中图分类号: TH744. 3 　　　文献标识码 : A Commonpath and phaseshifting single frequency laser interferometer for length measurement HAN Xudong , AI Hua (Changchun Institute of Optics , Fine Mechanics and Physics , Chinese Academy of Science , Changchun 　130022 , China) Abstract : Polarized laser phase shifting method is adopted in this single frequency laser interferometer to solve ”zero drift ” of laser intensity in conventional single frequency laser interferometer. The measurement stability and repeatability are improved by means of common optical path arrangement. The resolution power of the interferometer is improved by using optical path dif ference doubling technique. In the experiment the main factors that affect the length measurement precision are analyzed and calculated. Results obtained are shown. Key words : phase shifting ; optical path difference doubling ; common path ; precision analysis and determination 在解决了原理构成的基础上 ,如何尽可能详尽 1 　引 　言 地找出影响干涉系统测