精密機械之誤差與檢測概述.ppt

* 動態量測—速度、加速度、震動 * 體積誤差量測 * 影響量測準確性之因素 * 影響量測準確性之因素 * 影響量測準確性之因素 * 結論 量測是一種品質檢測之方式，藉由量測才能知道理想與實際之差距為何？ 機械是多個機構件之組成，藉由驅動源提供動力達到所需之機械運動，如位移、速度、加速度等等，精密機械通常需依賴光學量具之即時檢測回饋，才能達到精密之等級。 精密機械之誤差源甚多，必須藉助精密量具才能進行安裝與校調。 精密運動床台安裝應該先校調單側滑軌(參考測)之真直度與平坦度，再校調另一側滑軌之平行度，確保單軸運動之準直度。 龍門式運動床台除了單軸運動之準直度是最重要量測項目外，交錯之兩個運動軸的垂直度與水平度，也是影響最終精度之重要因素。 除了機構件本身會有靜態幾何誤差外，動態誤差也需要考慮。另外熱變形、震動源等等也會對精度產生影響。 * 參考資料 精密機械精度檢測(簡報) 光學儀器在精密量測上之應用(簡報) 真直度真平度量測(簡報) Machine Tool Accuracy Testing(簡報) —范光照教授，台大機械系 雷射干涉儀原理與運用 —沈建華，精密機械研發中心 精密量測檢驗 —林詩瑀、陳志堅編著，全華圖書2008年7月 精密機械之誤差與檢測概述 Anson Lee Date: 2009/04/09 * 精密機械之組成 精密機械是由藉由精密機械運動軸(線性+角度)達成功能性機械需求(如加工、搬運、檢測等)所組合而成。 種 類 (例) 運動軸 功能機械 精密工具機 X, Y, Z, α, β, γ 切削、成型 半導體製程設備 X, Y, Z, α 曝光、濺鍍、研磨、切割、銲線…… 平面顯示器製程設備 X, Y, Z, α 鍍膜、搬運、貼合、滴注、切割… 精密量測儀器 X, Y, Z, α, β 探頭、光學、物性、化性… * 精密機械基本架構 機架本體 (Body) 傳動機構 (Transmission Mechanism) Belt Wheel, Gear, Ball Screw 導引機構 (Guide Mechanism) Linear Guideway 邊界感測訊號 (Boundary Sensor Signal) Limit Switch, Photo Sensor 致動器 (Actuator) Step Motor, Servo Motor, Linear Motor 位移量測系統 (Displacement Meter System) Linear Scale 驅動器 (Driver) 控制器 (Controller) PC Base, PLC, Single Chip * 精密機械基本架構 * 超精密定位系統之組成 * 精密機械精度檢測 主要檢測各運動軸的精度(準確度+重覆性) * 精密度與準確度 * 精密機械誤差種類 ◆ 靜態幾何誤差 ◆ 動態循跡誤差 ◆ 熱變形誤差 ◆ 工作範圍體積誤差 * 靜態幾何誤差 * 靜態幾何誤差-圖示 * 幾何誤差－定位、直度、角度、垂直、體積 * 真直度量測 直規與量錶法 水平儀法 真直度(straightness)在機件組合、機器台面等均極為重要，影響到單一機件之平行度、真平度及機件組合之精度，如平板之真平度和工具機轉軸之真直度等皆是。因此真直度之量測不可忽視。 * 電子水平儀 (Electronic Level) 電容式 (Capacitance type) 擺錘兩邊設有電極，若受待測工件影響導致間隙不同即產生的電容不同，形成角度的差異。 電感式 (Inductance type) 當基座因待測工件而傾斜，內部擺錘因移動造成感應線圈電壓的變化。 * 自動視準儀量測 * 平坦度量測--水平儀法 * 平行度檢驗--量錶法 * 直角度檢驗--直角規法、直角鏡法 * 旋轉誤差檢驗－偏心旋轉、軸向滑移、偏擺旋轉 * 雷射干涉儀 * 線性量測(定位精度) * 線性量測(定位精度) * 角度量測 * 角度量測 * 真直度量測 * 真直度量測 * 直角度量測 * 平面度量測 * 平面度量測 * 旋轉軸量測 * 動態量測