TMAH 泄漏喷溅之紧急应变演练.pdf

TMAH洩漏噴濺之緊急應變演練 黃秀華 副理 王思溫 處長 漢磊科技股份有限公司 摘 要 TMAH(Tetramethylammonium hydroxide, 四甲基胺水) 大量地使用在半導體 與光電等電子高科技產業中，其主要用途是在黃光製程中當作顯影劑 (Developer)使用，在以往對它的危害認知上，僅當成強鹼性與腐蝕性化學物質 處置，直到近幾年陸續有勞工被噴濺致死案例發生，而引起工業界及醫界對此 化學物質危害性與處理之重視。 本公司今年度接受財團法人安全衛生技術中心及工研院能環所指導，針對 TMAH 相關作業，包括化學品運送、化學品更換、廠務端維護保養更換、設備 端濾心更換及狀況排除等作業進行作業安全分析，再根據危害風險性較高的廠 務端維護保養更換作業進行模擬 TMAH洩漏噴濺之緊急應變，並拍成影帶。 本影帶主要強調急救黃金時間的處理方式，以分階段拍成影帶的方式呈現，並 突顯緊急應變處理的一些問題，如沖身方式、濾毒罐的選用、急救人員是否需 著 C 級防護衣等等，以提供各界在擬定 TMAH緊急應變措施時之參考。 一、前言 漢磊科技於 1985 年設立於新竹科學園區，是國內第一家矽磊晶片(Epitaxial Process)製造廠，產品定位於少量多樣，能針對客製需求生產，並使用特殊製 程以生產性能符合高元件密度、高轉換度及高功率負載要求之磊晶，廣泛運用 於功率元件、Bipolar及 BiCMOS 元件等。根據 Garter Dateguest 統計：漢磊 科技之磊晶產能為日本以外亞洲區最大。 漢磊科技因在磊晶技術方面的卓越表現，也在 1992 年跨足半導體元件代 工產業，成立全球第一家雙載子積體電路(Linear Bipolar IC) 之專業代工廠， 更在 1996 年開始提供功率半導體(Power MOSFET) 元件之代工。 漢磊科技從事於半導體晶圓製造，本著永續經營的理念，藉由技術研發、 製程改善、致力安全衛生管理的推動，以創造安全衛生舒適的工作環境和客戶 真正滿意為職志，藉由全員參與及持續改善，以達到降低災害與企業持續成長 之經營目標。做到：嚴守安全衛生相關法規、全體員工積極參與安全衛生活動 以及持續不斷的改善安全衛生流程以降低災害風險。 近年來， TMAH(Tetramethylammonium hydroxide, 四甲基胺水) 大量地使用 在半導體與光電等電子高科技產業中，其主要用途是在黃光製程中當作顯影劑 (Developer)使用，在以往對它的危害認知上，僅當成強鹼性與腐蝕性化學物質 處置，直到最近二、三年科學園區與工業區陸續有勞工被噴濺致死案例發生， 而引起工業界及醫界對此化學物質危害性與處理之重視。漢磊科技股份有限公 司承科學工業園區管理局指示辦理 TMAH緊急應變演練觀摩，期能降低工安環 保事件的發生，提升這類事故救災防護能力。 二、輔導流程 本輔導的架構之實施方法如圖 2-1所示，主要包含進行 TMAH資訊收集、 供應系統簡介、進行作業面 (step by step)TMAH更換作業安全分析，以有效 鑑認人員作業之潛在危害，最後，主要針對人員遭受 TMAH噴濺的緊急處理模 擬演練。 進度與輔導內容規劃 TMAH相關資訊收集 現勘及製程簡介 系統流程圖 系統管路儀表圖(PID) 作業安全分析 JSA TMAH噴濺