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- 2018-01-04 发布于湖北
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第14章 固态图像传感器
图象传感器是利用光电器件的光-电转换功能,将其感光面上的光像转换为与光像成相应比例关系的电信号图像的一种功能器件.固态图像传感器是指在同一半导体衬底上布设的若干光敏单元与位移寄存器构成的集成化、功能化的光电器件.所用的敏感器件为电荷耦合(CCD)、电荷注入器件(CID)、金属氧化物半导体器件(MOS)等电荷转移器件.;13.1 电荷耦合器件-CCD;(一)MOS光敏单元;;A、势阱的产生
MOS的金属电极加正压,电极下的P型硅区域内空穴被赶尽,留下带负电荷的负离子,其中无导电的载流子,形成耗尽层。它是电子的势阱。势阱的深浅取决于U的大小。;B、电荷的存储
势阱具有存储电荷的功能,势阱内所吸收的光生电子数量与入射到势阱附近的光强成正比。
CCD器件将物体的光像形成对应的电像时,就是CCD器件中上千个相互独立的MOS单元势阱中存储与光像对应的电荷量。;(二)读出移位寄存器;P型Si;B、三相CCD电极的结构
MOS上三个相邻电极,每隔两个电极接在一起。由3个相位差120°时钟脉冲驱动。; 电荷转移的控制方法,非常类似于步进电极的步进控制方式。也有二相、三相等控制方式之分。下图以三相控制方式为例说明控制电荷定向转移的过程。;C、电荷的输出;13.2 固态图像传感器
可将固态图像传感器分为线型和面型两类.
1) 线阵电荷耦合器件;
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