掩膜间隙和刻蚀温度对738模具钢侧蚀量的影响.PDFVIP

第 卷 第 期 腐蚀与防护 ３５ ４ Ｖｏｌ．３５ Ｎｏ．４ 　 年 月 ２０１４ ４ ＣＯＲＲＯＳＩＯＮ＆ＰＲＯＴＥＣＴＩＯＮ Ａｒｉｌ２０１４ ｐ 掩膜间隙和刻蚀温度对７３８模具钢侧蚀量的影响 黄红光，郭钟宁，王冠 （广东工业大学 机电工程学院，广州 ５１０００６） 摘 要：采用喷淋蚀刻工艺对７３８模具钢进行微细蚀刻加工，研究了蚀刻加工中掩膜间隙和蚀刻温度对侧蚀量的影 　 响。通过单因素方差分析对因素水平进行显著性检验，采用ＯｒｉｉｎＰｒｏ８．０拟合测蚀量与掩膜间隙、蚀刻温度关系的