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EACS98一101 H 传感器与检测技术 497 大位移自动测试系统 自贡高等专科学校 薛尚清 杨维剑 李清 摘要:利用容栅传感器实现大位移的信号检测、配以单片机进行信号的处 理、转换和传输.利用系统机 (PC)控制单片机进行数据测量、数据处理、结 果显示、打印等，并组成自动测试系统. 关键词:大位移 测试 系统 在测试技术中，位移测量技术是最重要最普遍的测试技术之一。经过几十年的研究和探 索，一般位移测试技术已日臻成熟和完善，但大位移特别是宽范围测试技术是在近10多年来 才得到迅速发展和完善的。本文就是作者在多年科研、教学工作中对大位移实现高精度连续 测试和数据采集的探索和研究的总结。 一、测量原理 实现位移的测量关键是信号的转换，即传感器的选用。 用于位移测量的传感器类型很多，如电阻式、电容式、电感式、磁电式、光电式、霍尔 元件式、振弦式，，’’二、要实现宽范围大位移测试，采用70^-80年代出现的新型传感器一容栅 传感器最为理想，它具有结构简单、体积小、耗能少、环境适应性强、测试精度高等优点。 容栅传感器是属于变面积电容传感器，但在结构上与一般电容传感器不同:它有多个电 极板，在一个极距内有多个电极作栅状分布，便于电气细分，这种栅状结构与磁栅、光栅、 电栅 (感应同步器)十分近似，称为容栅，它是自动化测试技术中 “四栅技术”家族中的新 成员。 瑞士SYLVAC公司研制的用于电子数显卡尺的鉴相型容栅传感器就是使用容栅技术的典 型机电一体化产品，其原理图如图1所示。 尸 一 - ~ 十r，一一一r‘ 宁勺宁-目- ，rr rrrl .1二 互 rr r ，们 气门， rrr.1. 1畴底lI翻 }杆 什干 l撇撇 0 屏帐龟性 反射 电吸 图 1 容栅传感器原理图 498 H 传感器与检测技术 EACS98- 101 它由动尺和定尺组成，动尺上有多个发射电极和一个接收电极，定尺上有多个相互绝缘 的反射电极.(或称传送电极)和一个屏蔽电极，反射电极极距对应于一组发射电极:动尺上 的发射电极共有六组，每组八个。当每组相同序号的发射电极上加一幅值、频率和相位相同 的激励信号，相邻序号电极上激励信号的相位差为2n/N(如图上N=8，相位差为二/ 4).由于发射电极和反射电极之间、反射电极和接收电极之间均存在着电场，由反射电极 的电容拐合和电荷传递作用，使得接收电极上的输出信号随发射电极与反射电极的位置而变 化，从而实现了机械位移量到电信号的转换。 由于这种传感器是由动尺相对于定尺的位移大小来测量位移的，而定尺又是由简单的反 射电极和钢性结构的底板组成，这样测量范围就仅由定尺的长短来决定。只要定尺结构拼接 组合达LOm以上，就可实现大位移测试。 这种传感器配以鉴相型测量电路(己有专用集成芯片)就可以用于电子数显卡尺中，目前 这种数显卡尺分辨率可达O.Olmm,精度为。.03mm,测量速度可达1.Sm/s,测童范围可为0- 1m，耗能小 ((1.5v氧化银扣式电池可用一年以上)，对环境要求不高，可在任意位里上置