磷掺杂对非晶硅薄膜结构及光电性能的影响.PDFVIP

下载本文档

12
0
约1.93万字
约 5页
2018-12-13 发布于天津
举报
版权申诉

磷掺杂对非晶硅薄膜结构及光电性能的影响.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

磷掺杂对非晶硅薄膜结构及光电性能的影响.PDF

See discussions, stats, and author profiles for this publication at: /publication/263379924 Effect of Phosphor-Doped Concentration on the Optical and Electrical Properties of a-Si:H Thin Films Article in Kuei Suan en Hsueh Pao/ ournal of the Chinese Ceramic Society · April 2011 CITATIONS READS 2 105 5 authors, including: Guanchao Yin Xiujian Zhao Helmholtz-Zentrum Berlin Wuhan University of Technology 24 PUBLICATIONS 95 CITATIONS 571 PUBLICATIONS 1 ,43 CITATIONS SEE PROFILE SEE PROFILE Some of the authors of this publication are also working on these related projects: low dimensional photocatalyst View project Nano_Energy View project All content following this page was uploaded by Xiujian Zhao on 02 December 2014. The user has requested enhancement of the downloaded file. · 568 · 硅酸盐学报 2011 年第39 卷第4 期硅酸盐学报 Vol. 39 ，No. 4 2 0 1 1 年 4 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY April ，2011 磷掺杂对非晶硅薄膜结构及光电性能的影响殷官超，高峰，袁文辉，夏冬林，赵修建 (武汉理工大学，硅酸盐材料教育部重点实验室，武汉 430070) : 摘要：采用射频等离子增强化学气相沉积方法制备了磷掺杂氢化非晶硅(a-Si H)薄膜。通过Raman 散射光谱研究了不同磷烷掺杂含量薄膜的微结构，利用分光光度计对薄膜的厚度、消光系数和折射率进行了模拟，用高阻仪测得了非晶硅薄膜暗电导率。结果表明：薄膜的中程有序度随着磷掺杂量φ(体 –3 积分数) 的增加而减小；折射率在φ