双岛五梁式微加速度传感器的动态响应研究.pdfVIP

第25卷第 12期 机 械 设 计 V0l_25 No．12 2008年 12月 JOURNAL OFMACHINEDESIGN Dec． 2008 双岛五梁式微加速度传感器的动态响应研究 杨文硕 ，严迪新 (苏州科技学院 电子与信息工程学院，江苏 苏州 215011) 摘要：用模态分析的理论和方法对离散的双岛五梁式微加速度传感器整体结构模型进行了动态响应仿真分析。根 据设计需要，对结构施加了平峰 阻尼；并对在不同阻尼比条件下结构的动应力及变形进行 了分析，给 出了改善结构动态 特性的阻尼比及工作梁表面动应力的分布规律和数值；确定了传感器不受复杂模态干扰的工作频带；为合理设计传感器 的结构给 出了动态设计依据。 关键词：双岛五梁；微加速度传感器；动态响应；阻尼比；动应力 中图分类号：TB936 文献标识码：A 文章编号：1001—2354(2008)12—0008—03 微加速度传感器 (MicroElectro—MechanicalSystems，MEMS) 运动方程为 ： 是在动态环境下工作的。由于体积小、谐振频率高、响应时间 [m]{}+[]{ql= {0 短，其微结构(以下简称结构)的动态特性对传感器质量和性能 式中：[m]—— 广义质量矩阵； 的影响也越来越明显。因此，研究其结构的固有动态特性及在 动载激励下结构的响应 (运动状态、工作梁表面动应力场及变 {q}—— 广义加速度列阵； 化规律等)已成为微加速度传感器结构设计领域的重要研究内 [k]—— 广义刚度矩阵； 容。 {q}—— 广义坐标列阵。 鉴于微尺度下的理论体系尚未建立，在用宏观理论指导研 式(1)是将结构离散为N 自由度系统的运动方程，将其进 究结构时，不应该用简化的模型进行结构分析；应该对结构建 行主坐标变换 ，运动方程为： 立整体分析模型，保证结构物理特性的连续性，以便对结构进 [，j{}+ 【]{}： {0 (2) 行正确、有效的动态特性和动态响应仿真分析，避免设计上的 式中：[，]—— 单位矩阵； 缺陷；并采取必要 的抑制措施，既可使结构安全可靠，又有灵 {}—— 主加速度列阵； 敏、理想的输出信号。 [m]—— 固有频率矩阵； 1 理论研究 {}—— 主坐标列阵。 式(2)是Ⅳ个单谐波振动系统，实际的物理意义是将一个 图1所示为一块硅片经过半导体工艺和微机械加工技术 N 自由度系统变换为 Ⅳ个单谐波振动系统，每一个系统实现一 制成的微加速度传感器结构，由梁 、双岛(质量)及边框组成。 种主振动。应用模态分析的理论和方法将 Ⅳ个主振动进行叠 工作梁和边梁的平面尺寸是 m级，其厚度为20 m。 加逼近结构的实际动态特性。 厂 ‘ 2 固有模态分析 微加速度传感器的固有模态分析结果是确定传感器阻尼 和工作频率的重