基于网络数据库的LSI工业洁净系统研究.pdfVIP

基于网络数据库的LSI工业洁净系统 中南勘测设计研究院 肖双江 武汉大学 孙夫雄 摘要大规模集成电路(LSI)的生产环境对电子行业极其重要，而洁净环 境的控制是一个系统工程，不仅仅依靠优良的处理设备。介绍了利用网络数据库系 统和Lonworks的控制网络技术，实现生产管理与净化系统相结合的智能化，可视 化和一体化控制。通过对数据库中大量信息的挖掘，及时掌握和预测生产及设备状 态，可以极大地提高生产管理水平。 关键词 超净化控制系统 大规模集成电路 网络数据库Lon现场总线技术 数据挖掘 1概述 对生产大规模集成电路的电子行业来说，洁净环境的探制处理系统十分关键，直接影响 着成品率高低。洁净环境的控制是一个系统工程，其实现仅靠先进的控制算法和优良的处理 设备是不够的，还需要合理的工艺流程，合理的人流物流分配，以及建筑设计和人员管理培 训等诸多方面，而目前净化系统作为一套辅助系统往往独立于生产管理系统之外，缺乏必要 发展，将Web数据库技术与企业生产系统及各类后勤辅助系统结合起来以实现企业全方位 管理系统，对掌握生产及设备状态、协调生产过程、提高生产管理水平、优化产业结构产生 了