光谱共焦传感器-勤联科技.PDFVIP

光光谱谱共共焦焦传传感感器器 透-透明明及及多多层层材材料料，，镜镜面面之之位位移移厚厚度度解解决决方方案案 非-非接接触触精精准准量量测测各各种种材材质质 振振 联联 科科 技技 有有 限限 公公 司司 www.sa nte 非接触/高精度/高性价比 SA K彩 色光谱 共焦传感器 是一种精度 可达次微纳米量级 的非接触 式位移量测系 统， 可精准测 量漫反射/镜 面反射及透 明多层材质 的位移,厚度,也适合深孔/盲孔 工件等 运用 。 原理 利用特制 的彩色编码镜头使可见光产生轴 向色散输 出， 并经 由光谱解析器解析共 焦 回传光波讯号， 最后透过波长与位移转换 曲线计算 出工件位移量测值 。 共焦 回传光波讯号 ) 光谱解析器 s t n