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数字化玻璃表面检测系统的研究
30 5 光 子 学 报Vol. 30 No . 5
2001 5 ACTA PHOT ONICA SINICA May 2001
莫卫东 冯金高
( , , 710038)
本研究把传统光学方法与现代数字化图象技术相结合, 运 先进的数字化图象处理
手段和Zerni e 多项式拟合干涉波面方法进行干涉图象的计算, 并在理论上有较大的突破,
从而可快速准确测量出光学平面玻璃表面的平整度以及对其它技术指标的定量评定. 本研
究所架构的光学平面玻璃表面检测系统的精度达到了/ 100, 灵敏度为/ 1000.
干涉仪; 数字图象处理; Zerni e 多项式拟合; 平面玻璃表面
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国家863 计划资助项目( “激光陀螺研制”)
收稿日期: 2000-08-25
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