叉指式硅微机械陀螺的闭环驱动电路研讨.pdfVIP

2005年11月 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 珠海 叉指式硅微机械陀螺的闭环驱动电路研究 莫冰刘晓为谭晓昀张宇峰肖诗满史增博 (哈尔滨工业大学MEMS中心，哈尔滨150001) 摘要： 本文从叉指式硅微机械陀螺的器件结构角度分析了陀螺驱动信号和检测信号 的关系，得出了陀螺的理想驱动信号必须满足的条件，由此提出了叉指式微机械陀螺的 闭环驱动方式并设计了总体电路结构，最后总结了陀螺闭环驱动电路的优点以及设计难 点。 关键词：叉指式：硅微机械陀螺：闭环驱动电路 onthe Circuitsofthe Study Closed．100pDriving Micro．silicon Multi．finger Gyroscope Mo Xiaowei，Tan Shiman，Shi Bing，Liu Xiaoyun，ZhangYufeng，Xiao Zengbo Institute 150001， (MEMSCenter,HarbinofTechnology,HarbinChina) this the betweendriver andtest of Abstract：In paper，weanalyzerelationship signal signal the micro—siHcon concludethe ofthe driver multi—fmger gyrosocpe，and qualificationsperfect is of structureof c打cmts then，the closed-loopdriving presented．Theadvantages signal．And the circuitsanddifficultieson arealsodiscussed． closed—loopdriving design circuits KeyWords：multi·-finger；micro--siliconGyroscope；closed--loopdriving 1引言 2叉指式微机械陀螺的工作原理 微机械陀螺是近十年快速发展起来的 图1为叉指式微机械陀螺的结构框 一种新型惯性器件，其传感器器件和信号 图，其上下结构完全对称，主要构成部件 处理电路都主要由晶体材料(主要是硅)制 有：中心质量块、敏感弹性梁、驱动弹性 作而成，具有体积小，成本低，便于大批 梁、外框架以及锚点。此结构包括六组固 量生产等特点，在工业生产、汽车工业以 定电极：主驱动电极(左)、主驱动电极 及军事应用等方面有着广阔的应用前景。 (右)、从驱动电极(左)、从驱动电极(右)、 微机械陀螺的驱动信号对其检测精度 检测电极(左)和检测电极(右)。它们都是 有很大的影响，目前陀螺信号的驱动方式 固定在基