光纤光谱仪 微型光谱仪精选.pdfVIP

第9卷 第4期 光学精密工程 V019．No．4 2OO OFrICSAND ‰g，2001 1年B月 H慢￡为姗瞄B{CⅡ程ER矾G 文章编号 1∞“924x(2001)O串—∞72—05 微型光谱仪的发展现状 鞠挥，吴一辉 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130022) 摘要：光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分折仪器，微加工技术的发展和砌瑚s(微机电系 统)、MI)EMs(微光机电系统)技术的出现为其微小型化提供了可能性，本文着重就采用新型滤光技术的 微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍。光谱仪的微小型化是我国微型 仪器的一个重要发展方向。 关键词：微光电机械系统；；光学纤堆；光谱投 中圈分类号：Tm44．1文献标识码：A 改变射频的功率进行精密、快速的调节L3。与带 1 引 言 通滤光片相比，通过AOTF光的波长范围很窄，它 徽光学、微电子学、微机械学的结合产生出一 类新的应用范围很广的微型光机电系统 度和很高的灵活性。 (MoE陋)，它也是机、电、光、磁、化学、传感技术 等多种技术的综合uJ。M0m俗日益成为新的光合设计一种微型电晶体Nm光谱仪【4’7。这种基 学工具，已经对许多基于光学的仪器显示出应用 前景【2J。作为MOEMS的一种，微型光谱分析仪 用于航天领域，是一种反射型近红外光谱仪，使用 具有许多大型光谱仪所不具备的优点，如重量轻、 发光二极管(u∞)阵列作为光源，光纤作为光波 体积小、探测速度快、使用方便、可集成化、可批量 传输介质并且采用一种微型AOTF作为可调滤光 制造以及成本低廉等。像普通光谱仪一样微型光 片。光谱分析是通过各向异性声光作用来完成 谱仪有着巨太的应用市场，可以应用在实验室化 的，只要简单改变驱动RF频率控制声控动态光 学分析、临床医学检验、工业监测、航空航天遥感 栅就可以在宽带宽范围内快速调节波长。 等领域，因而引起了人们广泛的兴趣。 微型光谱仪的实现可以应用多种技术，目前 常用的方法包括：采用新型滤光技术制作微型光 谱仪；利用光纤的化学传感性制成光纤探针进行 光谱分析；使用徽细加工制作技术结合集成光学 介质光波导的化学传感性制作微型光谱仪等。 2采用新型滤光技术的微型光谱仪 声光可调滤光片(AdrF)是一种微型窄带可 调滤光片，是光谱仪微型化的一个发展方向，它通 过改变施加在某种晶体上的射频频率来改变通过 ill峭Ⅱ埘∞0fdle耐rLian啪NIRAOTF Fk．1母sLem 5举tmrrL— 滤光片的光波长，而通过A仃IF光的强度可通过 ekf 收稿日期：200l-01．16；修订日期：2∞1研_2l 万方数据基金项目：国家重点基础研究发展规蜘项目昕3(c199嗽107) 4期 鞠挥，等：微型光谱仪的发展现状 图1是光谱仪系统示意图，它由两个分离的 分辨率是多个参数的函数，包括多层楔形滤光片 单元组成，光谱仪单元和电子控制单元。在仪器 接收点带宽，在x方向上探测器的尺寸、光发射锥 中使用LED代替了常规使用的卤钨灯。LED发顶角、光的点扩散函数以及楔状滤光片与探测器 出的光通过光纤耦合器进入Te02做成的非线性阵列问距离。实验结果可以稳定得到O．5％～ A01_F。通过A们_F选择的单色光被发送出去，再3％