基于锁相技术的C-V特性测试仪.pdfVIP

维普资讯 第8卷 第 14期 2008年7月 科 学 技 术 与 工 程 Vo1．8 No．14 July2008 1671-1819(2008)14-3752—05 ScienceTechnologyandEngineering @ 2008 Sci．Tceh．Engng． 通信技术 基于锁相技术的C-V特性测试仪 覃剑欢 黄志明 褚君浩 (中国科学院上海技术物理研究所，红外物理国家重点实验室，上海 200083) 摘 要 基于锁相技术，提出了一种可行的差分电容测试方法。介绍了通过硬件和软件设计，利用数字锁相放大器 model 7225，8051单片机单元等实现电容电压特性(C．V)仪器的自动化测试。实验结果表明，该仪器具有较高的测试性能，灵敏度和 信噪比都达到进 口成型仪器的水平，并可进行绝对测量和相对测量。 关键词 C．V 差分电桥 锁相 单片机 PDIUSBD12 中图法分类号 TN710．2； 文献标志码 A 电容电压 (C—)特性是研究半导体界面特性的 的精确测试 ，可实现 c—和 G．V(电导电压)特性的 一 种重要方法，已被广泛应用于MIS、MOS、p-n结、 绝对测量和相对测量。 异质结等器件的界面特性研究，c—特性不仅可以 提示半导体中的掺杂、补偿、载流子寿命及表面态、 1 测试仪工作原理 固定电荷、可动电荷等材料和器件参数，还有助于 深入研究深能级、共振缺陷态、反型层子能带结构 如图1所示，本系统测试原理基于交流差分桥 等问题 。 式电路，桥臂分别由两个 电容与两个 电阻构成，在 由于半导体器件结构的电容通常都在 pF量 c、D间加入直流和交流激励信号，A、B间输出测量 信号，接人后续信号处理系统。 级，属于微小电容，要求测试系统具有较高的信噪 比，较强的抗干扰能力和较稳定的工作条件，并需 要保证高的灵敏度和分辨率。此外实现c—特性测 量需要电压的连续扫描，传统的震荡法、电桥法、充 放电法和Q表法等不能满足测试要求，需开发专用 测试仪 o 国内目前的c—测量主要是采用高频测试信号 和分立元件 电路，灵敏度和分辨率较低，且只能实 现绝对电容测量。本测试仪针对 c—特性的研究需 图 1 差分桥式 电路原理 图 求，利用交流差分桥式电路的原理，基于锁相放大 技术，并以单片机为控制核心，研制了一套高性能 图1中，C，为一标准数字 电容，用于标定相对 的c．特性测试仪，锁相技术可保证在较低频率下 零点和实现相对测量；C为被测样品的电容值。 。 =R ，均为多级可调电阻，实现多级阻抗匹配。CD 2008年3月 1713收到 间交流电压U =u0sin2~ry／，频率厂和幅度 由交 第一作者简介：覃剑欢 (1982一)，男，瑶族，博士研究生。E-mail 流信号源控制，直流电压 即加载在电容两端的扫 qinji8nhuaII@gInjm．corn。 描电压 ，为直流电压信号源控制。AB间电压为输 维普资讯 14期 覃剑欢，等 ：基于锁相技术的C—V特性测试仪 3753 出电压，接人后续信号处理 电路 。由于采用交流 电 利 。主要硬件包括 ：SignalRecovery公司Model7225 桥，故直流电压可认为全部加载至样品 C 上，连续 锁相放大器，Maxim的超高