脉冲激光烧蚀等离子体和ECR放电器等离子体相互作用的光谱研讨.pdfVIP

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2018-01-10 发布于广东
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脉冲激光烧蚀等离子体和ECR放电器等离子体相互作用的光谱研讨.pdf

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指导小组成员名单：孙剑副教授吴嘉达教授许宁副教授应质峰副教授 ● 目录＼姻y洲1 摘要………………………………………………………………．．1 ABSTRACT．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3 第一章引言…………………………………………………………．．1 1．1 等离子体和等离子体光谱测量………………………………………．1 ， 1．2 ECR微波放电和ECR等离子体………………………………………．1 1．3 脉冲激光烧蚀和脉冲激光烧蚀等离子体………………………………．．3 ， f、 1．3．I脉冲激光烧蚀的研究背景…………………………………………3 - I．3．2脉冲激光烧蚀和脉冲激光烧蚀等离子体简介…………………………．．3 _ ? 1．4 ECR等离子体辅助脉冲激光沉积技术简介………………………………5 1．5 本文研究内容和结构………………………………………………6 j ；‘ 第二章实验装置………………………………………………………．7 I． 2．I ECR微波放电和脉冲激光烧蚀装置……………………………………7 i 2．1．1ECR微波放电装置………………………………………………：7 2．1．2脉冲激光烧蚀装置………………………………………………8 2．1．3 ECR等离子体辅助脉冲激光沉积装置…………………………………9 2．2 时空分辨光谱测量装置……………………………………………10 第三章 ECR氮等离子体与脉冲激光烧蚀铝等离子体的混合光谱…………………12 3．1 ECR放电氮等离子体光谱和脉冲激光烧蚀铝等离子体光谱…………………．12 3．1．1ECR放电氮等离子体光谱…………………………………………12 3．1．2脉冲激光烧蚀铝等离子体光谱…………一………………………．15 3．2 PLA AL等离子体对ECR氮等离子体影响的时间积分特性…………………．．19 3．2．1A1plume对ECR氮等离子体光谱强度的影响…………………………．19 3．2．2不同位置ECR氮等离子体光谱激发增强的比较………………………．．2l 3．2．3PLA A1等离子体对不同背景气氛的增强效果的比较……………………．22 3．2．4激光能量对增强效果的影响………………………………………23 3．3 PLA AL等离子体对ECR氮等离子体影响的时间分辨特性…………………．．25 3．3．1A1plume对ECR氮等离子体影响的时间分辨特性………………………25