基于Krylov子空间投影法的MEMS宏建模方法研究.pdfVIP

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2018-01-11 发布于未知
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基于Krylov子空间投影法的MEMS宏建模方法研究.pdf

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第19卷第5期传感技术学报 V01．19No．5 AND 2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSACTUATORS Oct．2006 MEMS Basedon ectionMethod MacromodelingKrylovSubspaceProj YAN Zi-jian，YUAN Jun，CHANG Wei—zheng+，LVXiang—lian，LIHong—long 710072，China) (MEMS／NEMSLaboratory，NorthwesternPolytechnicalUniversity，Xi’an Abstract：Basedon methodandfiniteelement hadobtainedan Krylovsubspaceprojection analysis，we ap— toconstructdevicemacromodel．Thesereduced-ordermacromodelscouldbeobtained proach by datafromthe 2Dor3Dmeshedmodelruns．Themacromodels thismethodhavethe fully generatedby characteristicsoflow insertedintoa leversim— computationalexpense，acceptableprecision，easily system ulatorforsimulation．Asan methodwasdemonstrated thebehaviorofa comb example，the bycapturing resonator，furthermore，theresonatormacromodel’Scharacteristicswereverifiedwiththefullfiniteele— ment model． words：MEMS Key CAD；macromodel；physicslever；Krylovsubspace EEACC：2575 闫子健，苑伟政”，吕湘连，李俊，常洪龙 (西北工业大学微／纳米系统实验室，西安710072) 摘宏模型．这种方法通过对整个2D或3D器件有限元分析的结果提取宏模型．基于这种方法建立的宏模型具有计算代价低、精度合适的特点，而且能方便地插入到系统级仿真器进行仿真．文中通过一个谐振器结构阐释了这一方法，并且针对所建立的谐振器结构宏模型进行了精确性验证．关键词：MEMSCAD；宏模型；物理级；Krylov子空间中图分类号：TP391．72 文献标识码：A 随着微机电系统(MEMS)技术的发展，对于设右)，其求解变量和结果的规模必定很大，要在Bot— 计、仿真、控制与优化等各项技术的要求越来越高， MEMS CAD方法学成为一个越来越重要的研究领不可能．所以需要降低描述物理场方程的规模，以尽域[1]．通常，系统级建模与仿真关注MEMS的整体量少的精度损失为代价，获取能高效求解的宏模工作特性